上海交通大学2023年12月政府采购意向-高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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上海交通大学2023年12月政府采购意向-高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统 |
| 预算金额： | 310.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 主要技术指标（1）样品在各工艺环节间可实现非接触式连续传送（2）可在不破空条件下的完成靶材更换（3）各腔室同时工作时无交替污染集成系统与镀膜腔体具体参数指标：1.★满足镀膜样品尺寸最大可覆盖：4-8英寸晶圆2.★腔体极限真空度：≤1×10-7 Pa；腔体 200℃烘烤 72小时，冷却24小时后基础真空低于 5×10-7 Pa3.★厚度均匀性：≤3%4.★样品台温度及稳定性 ：750℃，在 600℃时，温度均匀性优于±6℃，温度稳时变化小于±0.2℃5.★靶材功率密度：≥3W/cm26.★传样工具与方式：手动传样7.★转动自由度：360 度连续旋转8.★PID 控制烘烤：最高烘烤温度：200℃9.★视窗：4个镀膜腔室包含可视窗、过压保护装置10.★水冷系统：阴极靶材，镀膜腔体，磁场线圈等均包含高精度水冷11.★进气系统：数字式质量流量计；工艺气体：Ar；流量为 ≤50 SCCM12.磁场：均匀磁场设计，轴线磁感应强度不低于0.02T13.控制系统：自动数据记录，进气、靶基距、起辉、灭辉控制，水温报警，互锁系统等14.真空腔体内表面经过等离子处理工艺 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | 该设备为教育部贷款贴息项目“功能金属基复合材料创新平台”（项目号：WH*）所购序号为5的设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统 |
| 预算金额： | 310.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 主要技术指标（1）样品在各工艺环节间可实现非接触式连续传送（2）可在不破空条件下的完成靶材更换（3）各腔室同时工作时无交替污染集成系统与镀膜腔体具体参数指标：1.★满足镀膜样品尺寸最大可覆盖：4-8英寸晶圆2.★腔体极限真空度：≤1×10-7 Pa；腔体 200℃烘烤 72小时，冷却24小时后基础真空低于 5×10-7 Pa3.★厚度均匀性：≤3%4.★样品台温度及稳定性 ：750℃，在 600℃时，温度均匀性优于±6℃，温度稳时变化小于±0.2℃5.★靶材功率密度：≥3W/cm26.★传样工具与方式：手动传样7.★转动自由度：360 度连续旋转8.★PID 控制烘烤：最高烘烤温度：200℃9.★视窗：4个镀膜腔室包含可视窗、过压保护装置10.★水冷系统：阴极靶材，镀膜腔体，磁场线圈等均包含高精度水冷11.★进气系统：数字式质量流量计；工艺气体：Ar；流量为 ≤50 SCCM12.磁场：均匀磁场设计，轴线磁感应强度不低于0.02T13.控制系统：自动数据记录，进气、靶基距、起辉、灭辉控制，水温报警，互锁系统等14.真空腔体内表面经过等离子处理工艺 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | 该设备为教育部贷款贴息项目“功能金属基复合材料创新平台”（项目号：WH*）所购序号为5的设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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