为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：

1、项目概况：

（1）拟采购方式：上大迅采

（2）采购项目名称：超构表面光器件流片服务

（3）预算金额：38.5万元

（4）采购需求概况：

因开展科研项目的要求，本服务项目需要供应商提供8英寸晶圆流片服务。一、Si晶圆上Si超构表面加工3片： Si超结构关键尺寸为200至800 nm，高度为2至8 μm二、SiO2玻璃晶圆上a-Si超构表面加工3片：a-Si超结构关键尺寸为150至600 nm，高度为400至600 nm三、Si晶圆上的外延Ge超构表面加工3片： Ge超结构关键尺寸为400至1000 nm，高度为1至2 μm四、该项目包含加工过程中必要的紫外光刻掩模版6个：其中248 nm KrF DUV 掩模版3个，i-线UV光刻机掩模版3个交付形式：加工后的8英寸晶圆预计服务时间：2023.12月到2024.9月

（5）预计采购时间：2023年11月

（6）采购意向公示时间：2023-11-07 ~ 2023-11-12

2、联系方式：

采购人名称：上海大学

联系地址： (略) 上大路99号

用户单位联系人：董渊

联系电话：*

采购代理机构： (略)

联系人：郭婷婧

联系电话：021-**103

联系地址： (略) 虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室

采招办监督员：谢金印

监督电话：021-6613 0721

本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：

1、项目概况：

（1）拟采购方式：上大迅采

（2）采购项目名称：超构表面光器件流片服务

（3）预算金额：38.5万元

（4）采购需求概况：

因开展科研项目的要求，本服务项目需要供应商提供8英寸晶圆流片服务。一、Si晶圆上Si超构表面加工3片： Si超结构关键尺寸为200至800 nm，高度为2至8 μm二、SiO2玻璃晶圆上a-Si超构表面加工3片：a-Si超结构关键尺寸为150至600 nm，高度为400至600 nm三、Si晶圆上的外延Ge超构表面加工3片： Ge超结构关键尺寸为400至1000 nm，高度为1至2 μm四、该项目包含加工过程中必要的紫外光刻掩模版6个：其中248 nm KrF DUV 掩模版3个，i-线UV光刻机掩模版3个交付形式：加工后的8英寸晶圆预计服务时间：2023.12月到2024.9月

（5）预计采购时间：2023年11月

（6）采购意向公示时间：2023-11-07 ~ 2023-11-12

2、联系方式：

采购人名称：上海大学

联系地址： (略) 上大路99号

用户单位联系人：董渊

联系电话：*

采购代理机构： (略)

联系人：郭婷婧

联系电话：021-**103

联系地址： (略) 虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室

采招办监督员：谢金印

监督电话：021-6613 0721

本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。