中国科学院紫金山天文台2023年11至12月政府采购意向-双面对准光刻机天文仪器-预算金额万元人民币
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中国科学院紫金山天文台2023年11至12月政府采购意向-双面对准光刻机天文仪器-预算金额万元人民币
| 双面对准光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 紫金山天文台2023年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 紫金山天文台 |
| 采购项目名称： | 双面对准光刻机 |
| 预算金额： | 275.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*天文仪器 |
| 采购需求概况： | 双面对准光刻机， 采用紫外光照射掩模版投影到晶圆上的方式，将掩模版上的图像转移到晶圆上，在优化的条件下，其光刻分辨率可达0.8um。可以通过上下显微镜观察，实现正面和背面套刻。正面对准精度为+/-0.5um， 背面对准的精度为+/-1.0um 。该设备将用于超导薄膜微器件的制备。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 双面对准光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 紫金山天文台2023年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 紫金山天文台 |
| 采购项目名称： | 双面对准光刻机 |
| 预算金额： | 275.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*天文仪器 |
| 采购需求概况： | 双面对准光刻机， 采用紫外光照射掩模版投影到晶圆上的方式，将掩模版上的图像转移到晶圆上，在优化的条件下，其光刻分辨率可达0.8um。可以通过上下显微镜观察，实现正面和背面套刻。正面对准精度为+/-0.5um， 背面对准的精度为+/-1.0um 。该设备将用于超导薄膜微器件的制备。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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