中国科学院微电子研究所2023年12月政府采购意向-掩模制版其他专业技术服务-预算金额万元人民币
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中国科学院微电子研究所2023年12月政府采购意向-掩模制版其他专业技术服务-预算金额万元人民币
| 掩模制版 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 掩模制版 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C*-其他专业技术服务 |
| 采购需求概况： | 掩模制版。制造14nm节点测试掩模、ArF干式光刻掩模、KrF掩模，14nm节点和ArF干式掩模类型为attPSM。主要用于对OPC建模和验证所需要的专用测试掩模，是验证算法精度的必需选择。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 掩模制版 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 掩模制版 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C*-其他专业技术服务 |
| 采购需求概况： | 掩模制版。制造14nm节点测试掩模、ArF干式光刻掩模、KrF掩模，14nm节点和ArF干式掩模类型为attPSM。主要用于对OPC建模和验证所需要的专用测试掩模，是验证算法精度的必需选择。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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