上海交通大学2023年12月政府采购意向-感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币
发送至邮箱
上海交通大学2023年12月政府采购意向-感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 335.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD），数量1套，采用感应耦合等离子体（ICP）方式产生高密度等离子体，在硅、III-V族、II-VI族化合物半导体、聚合物等衬底材料上、实现介质薄膜（包括氧化硅、氮化硅、氮氧硅等）的化学气相沉积，在8吋及以下半导体衬底上沉积高质量的 BPSG(磷硅玻璃)薄膜、介质薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNv)、非晶硅、微晶硅、Si碳化硅、DLC类金刚石等多种膜层。沉积温度可从室温到+300°C(可选到+400°C)，满足车规级产品技术要求，最大8吋，向下兼容6吋、4吋、3吋、2吋和碎片。不同尺寸样品之间的切换、无需开腔、无需破真空，具体要求见采购文件。供货周期为合同签订后6个月内，到采购人指定的地点并安装验收完毕（包括供货、安装、调试、验收合格）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 335.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD），数量1套，采用感应耦合等离子体（ICP）方式产生高密度等离子体，在硅、III-V族、II-VI族化合物半导体、聚合物等衬底材料上、实现介质薄膜（包括氧化硅、氮化硅、氮氧硅等）的化学气相沉积，在8吋及以下半导体衬底上沉积高质量的 BPSG(磷硅玻璃)薄膜、介质薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNv)、非晶硅、微晶硅、Si碳化硅、DLC类金刚石等多种膜层。沉积温度可从室温到+300°C(可选到+400°C)，满足车规级产品技术要求，最大8吋，向下兼容6吋、4吋、3吋、2吋和碎片。不同尺寸样品之间的切换、无需开腔、无需破真空，具体要求见采购文件。供货周期为合同签订后6个月内，到采购人指定的地点并安装验收完毕（包括供货、安装、调试、验收合格）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
