为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：

1、项目概况：

（1）拟采购方式：上大迅采

（2）采购项目名称：自动化接触式曝光设备

（3）预算金额：48.5万元

（4）采购需求概况：

自动化接触式曝光设备1套，用于图案化过程中的工艺，基于自动化机械手实现高效高通量自动化的智能曝光，为微电子材料研发提供依据。曝光光源波长为365nm，曝光分辨率为2um，曝光面积大于4寸，曝光强度为20~200mW/cm2，曝光不均匀性不大于5%，光源平行性不大于2°，光源平行性不大于2°，机械手工作半径范围为900mm-960mm，重复定位精度不大于±0.05mm，视觉帧率/分辨率大于22fps，视觉精度大于0.08mm，力控准度不小于0.05，吸盘最大负载不小于500g，吸盘噪声小于＜65dB，检测单元程序大于20组。供货周期自合同签订1周内，质保期不少于2年。

（5）预计采购时间：2023年11月

（6）采购意向公示时间：2023-11-23 ~ 迅采公告发布之日

2、联系方式：

采购人名称：上海大学

联系地址： (略) 上大路99号

用户单位联系人：李浩源

联系电话：*

采购代理机构：上海 (略)

联系人：葛文龙

联系电话：*-8015

联系地址： (略) 杨浦区国霞路458弄2号11楼

采招办监督员：谢金印

监督电话：021-6613 0721

本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：

1、项目概况：

（1）拟采购方式：上大迅采

（2）采购项目名称：自动化接触式曝光设备

（3）预算金额：48.5万元

（4）采购需求概况：

自动化接触式曝光设备1套，用于图案化过程中的工艺，基于自动化机械手实现高效高通量自动化的智能曝光，为微电子材料研发提供依据。曝光光源波长为365nm，曝光分辨率为2um，曝光面积大于4寸，曝光强度为20~200mW/cm2，曝光不均匀性不大于5%，光源平行性不大于2°，光源平行性不大于2°，机械手工作半径范围为900mm-960mm，重复定位精度不大于±0.05mm，视觉帧率/分辨率大于22fps，视觉精度大于0.08mm，力控准度不小于0.05，吸盘最大负载不小于500g，吸盘噪声小于＜65dB，检测单元程序大于20组。供货周期自合同签订1周内，质保期不少于2年。

（5）预计采购时间：2023年11月

（6）采购意向公示时间：2023-11-23 ~ 迅采公告发布之日

2、联系方式：

采购人名称：上海大学

联系地址： (略) 上大路99号

用户单位联系人：李浩源

联系电话：*

采购代理机构：上海 (略)

联系人：葛文龙

联系电话：*-8015

联系地址： (略) 杨浦区国霞路458弄2号11楼

采招办监督员：谢金印

监督电话：021-6613 0721

本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。