南京大学2023年12月政府采购意向-多腔互联多功能物理气相沉积设备其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
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南京大学2023年12月政府采购意向-多腔互联多功能物理气相沉积设备其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
| 多腔互联多功能物理气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 多腔互联多功能物理气相沉积设备 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购多腔互联多功能物理气相沉积系统设备一台，能够在集成电路先进工艺中进行金属、导电材料、氮化物和氧化物的高质量沉积，需具有超高真空磁控溅射和超高真空电子束蒸发两种设备，经过进样室连接。主要采购需求如下: 1. 每个腔体都是超高真空腔体；2.兼客6寸及以下晶圆；3.配备原位膜厚监测；4. 工艺温度范围:室温-800℃；5.磁控溅射配备直流和射频电源；6. 每个磁控溅射腔体配备不少于4个磁控溅射靶枪；7. 样品台可旋转；8. 电子束蒸发腔体配备不少于3个坩埚； 9. 质保期:3年。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 多腔互联多功能物理气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 多腔互联多功能物理气相沉积设备 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购多腔互联多功能物理气相沉积系统设备一台，能够在集成电路先进工艺中进行金属、导电材料、氮化物和氧化物的高质量沉积，需具有超高真空磁控溅射和超高真空电子束蒸发两种设备，经过进样室连接。主要采购需求如下: 1. 每个腔体都是超高真空腔体；2.兼客6寸及以下晶圆；3.配备原位膜厚监测；4. 工艺温度范围:室温-800℃；5.磁控溅射配备直流和射频电源；6. 每个磁控溅射腔体配备不少于4个磁控溅射靶枪；7. 样品台可旋转；8. 电子束蒸发腔体配备不少于3个坩埚； 9. 质保期:3年。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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