南京大学2023年12月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀机其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
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南京大学2023年12月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀机其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
| 感应耦合等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购感应离子耦合刻蚀(ICP)设备一台，能够在制造微纳结构与器件的加工中进行高精度的刻蚀，需具备稳定可控的离子源，能够提供高速率、高选择比以及低损伤的刻蚀，并保证加工表面的均匀性和平整度；能够应用于常见的介质层、半导体材料以及金属的刻蚀。主要采购需求如下: 1.ICP和衬底偏压两个独立的射频源； 2.兼客6寸及以下晶圆；3.具备快速气体清洗系统；4. 工艺温度范围:25-200℃；5. 至少配备8路工艺气路，包括耐腐蚀气路；6. 质保期:1年。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 感应耦合等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购感应离子耦合刻蚀(ICP)设备一台，能够在制造微纳结构与器件的加工中进行高精度的刻蚀，需具备稳定可控的离子源，能够提供高速率、高选择比以及低损伤的刻蚀，并保证加工表面的均匀性和平整度；能够应用于常见的介质层、半导体材料以及金属的刻蚀。主要采购需求如下: 1.ICP和衬底偏压两个独立的射频源； 2.兼客6寸及以下晶圆；3.具备快速气体清洗系统；4. 工艺温度范围:25-200℃；5. 至少配备8路工艺气路，包括耐腐蚀气路；6. 质保期:1年。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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