上海科技大学2024年01月政府采购意向-电子束光刻机
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上海科技大学2024年01月政府采购意向-电子束光刻机
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 电子束光刻机 | 上海科技大学“非平庸拓扑电子结构探索及在量子计算中的应用”（市级重大专项）申请采购电子束光刻机，将用于拓扑量子器件的制备。基于研究的需求，我们拟采购电子束光刻机1台，对设备的要求如下： （1）小于10nm的曝光精度； （2）大约为2mm*2mm的曝光写场； （3）包括可以快速切换的电流束闸控制系统； （4）包含可以进行曝光图形绘制的软件。 | *.00 | 2024-01 |
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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
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| 1 | 电子束光刻机 | 上海科技大学“非平庸拓扑电子结构探索及在量子计算中的应用”（市级重大专项）申请采购电子束光刻机，将用于拓扑量子器件的制备。基于研究的需求，我们拟采购电子束光刻机1台，对设备的要求如下： （1）小于10nm的曝光精度； （2）大约为2mm*2mm的曝光写场； （3）包括可以快速切换的电流束闸控制系统； （4）包含可以进行曝光图形绘制的软件。 | *.00 | 2024-01 |
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