序号

采购项目名称

需求概况

初步技术
参数

预算金额

（万元）

预计采购时间

备注

1

电子束蒸发镀膜机

电子束蒸发镀膜机1台

1、报价应为人民币（含税）且包括服务、售后、运输费等全部费用。

2、所有产品价 (略) 场调价政策而调整。*方除非因*方需求改变或经*方同意，且不得增加任何费用。

3、*方提供的物资质量应符合国家标准。各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。

4、合同生效后，*方在6个月内完成货品运输、安装及调试

5、提供1年免费维保；

6、包装及资料全新未使用。

7、不能公开项目采购相关信息，包括数量及用途等，涉及物资的全部技术资料等未经*方同意*方不得向社会公开。

1.可放样品最大尺寸≥2英寸；

2.配有测量本底真空的规管，检测范围2×10^-10Torr至大气压；

3.腔体配有烘烤和照明红外灯；

4.沉积腔满足超高真空系统要求，极限真空度<5×10^-9Torr；

5.样品架可旋转；

6.电子束蒸发源和膜厚仪可在高真空环境中使用；

7.配5个坩埚，每个容积不少于25cc；

8.单晶振系统，实时监测膜厚。

330

2024.1

合计

330万

序号

采购项目名称

需求概况

初步技术
参数

预算金额

（万元）

预计采购时间

备注

1

电子束蒸发镀膜机

电子束蒸发镀膜机1台

1、报价应为人民币（含税）且包括服务、售后、运输费等全部费用。

2、所有产品价 (略) 场调价政策而调整。*方除非因*方需求改变或经*方同意，且不得增加任何费用。

3、*方提供的物资质量应符合国家标准。各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。

4、合同生效后，*方在6个月内完成货品运输、安装及调试

5、提供1年免费维保；

6、包装及资料全新未使用。

7、不能公开项目采购相关信息，包括数量及用途等，涉及物资的全部技术资料等未经*方同意*方不得向社会公开。

1.可放样品最大尺寸≥2英寸；

2.配有测量本底真空的规管，检测范围2×10^-10Torr至大气压；

3.腔体配有烘烤和照明红外灯；

4.沉积腔满足超高真空系统要求，极限真空度<5×10^-9Torr；

5.样品架可旋转；

6.电子束蒸发源和膜厚仪可在高真空环境中使用；

7.配5个坩埚，每个容积不少于25cc；

8.单晶振系统，实时监测膜厚。

330

2024.1

合计

330万