来自军队采购网
概算金额（人民币，万元）：,350.00,预计交付日期：,**,采购意向需求概况：,采购意向公开,为便于供应商及时了解军队采购信息，根据《军队物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规,定，现将长沙某部的感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统采购意向公开如下,预算,采购项目名,需求概况,初步技术,金颜,预计采,备,号,称,参数,万,购时间,元),1.反应室棋块,(1)反应腔室采用6061航空铝材，暴露在等离子体部,分的表面做了100%硬质阳极化处理，带观察窗口；,2射质电療,口)两套射频电源；,(2)#Source?功率不低于2000W,带自动匹配器的,射频电源；,(3)#Bias功率不低于500W,带自动匹配器的射频,电源。,3.基底电极〔下电极),(1)下电极直径大于150mm,6英寸基片可单片装,感应耦合等离子体增强化学气相,沉积系统1套,载，石英或陶瓷基片卡环，卡环力度可调，6寸完整基,1、报价应为人民币（含税）且包,直接与背氦直接接触，更小基片或者碎片可以托盘装,括服务、售后、运输费等全部费,载,(2)可自动切换的背氦冷却系统与电加热系统，实现,2、所有产品价 (略) 场调价,下电极80-300摄氏度范围调节；,政策而调整。*方除非因*方需求,(3)温度稳定性：±1%；,改变或经*方同意，且不得增加任,(4)预留接口，后期可升级至用于8英寸工艺的下电,极。,感应耦合等,何费用。,离子体增强,4.真空及气路系统,化学气相沉,纯性能指标4达吸显,3、,*方提供的物资质量应符合国家,350,2024.1,积系统,4、,合同生效后，*方在6个月内完,(2)工艺腔室用抗腐蚀分子泵：分子泵抽速不低于,成货品运输、安装及调试,1300Ls,;抗腐蚀干泵：抽速不低于110m3h,5、提供1年免费维保；,具有可关闭的氮气吹扫功能；,6,包装及资料全新未使用」,(3)预真空室采用干泵（不可与主腔室共用），抽速,7、不能公开项目采购相关信息，包,不低于30m3h;,括数量及用途等，涉及物资的全部,(4)极限真空度（在12小时以内）,?￡5,技术资料等未经*方同意*方不得,向社会公开。,10Torr:,(5)工艺真空规，满量程100 mTorr,(6)自动调压节流阀：口径200mm,位置模式/压力,模式可任意切换；,(7)气路配置：每路气体配独立MFC流量计，最大量,程可选，可实现流量控制和流量偏差报警。,(8)气路采用EP级内抛光不锈钢管。,5.机台占地要求：长度s1800mm,宽度s900mm。,6.控制系统,(1)计算机检测和控制系统1套，采用windows操作,系统,(2)控制系统应能检测相关部件的运行状态；,(3)免费升级软件。,合计,350万,注：1，本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，采购项目具体情沉以最终发布的,采购公告和采购文件为准；,2.供应商可以通过军队采购平台反馈参与意向和意见建议。,3.公示时间：从公示日起30天,4.联系人及电话：黄老师*,长沙某部,**日
,长沙
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概算金额（人民币，万元）：,350.00,预计交付日期：,**,采购意向需求概况：,采购意向公开,为便于供应商及时了解军队采购信息，根据《军队物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规,定，现将长沙某部的感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统采购意向公开如下,预算,采购项目名,需求概况,初步技术,金颜,预计采,备,号,称,参数,万,购时间,元),1.反应室棋块,(1)反应腔室采用6061航空铝材，暴露在等离子体部,分的表面做了100%硬质阳极化处理，带观察窗口；,2射质电療,口)两套射频电源；,(2)#Source?功率不低于2000W,带自动匹配器的,射频电源；,(3)#Bias功率不低于500W,带自动匹配器的射频,电源。,3.基底电极〔下电极),(1)下电极直径大于150mm,6英寸基片可单片装,感应耦合等离子体增强化学气相,沉积系统1套,载，石英或陶瓷基片卡环，卡环力度可调，6寸完整基,1、报价应为人民币（含税）且包,直接与背氦直接接触，更小基片或者碎片可以托盘装,括服务、售后、运输费等全部费,载,(2)可自动切换的背氦冷却系统与电加热系统，实现,2、所有产品价 (略) 场调价,下电极80-300摄氏度范围调节；,政策而调整。*方除非因*方需求,(3)温度稳定性：±1%；,改变或经*方同意，且不得增加任,(4)预留接口，后期可升级至用于8英寸工艺的下电,极。,感应耦合等,何费用。,离子体增强,4.真空及气路系统,化学气相沉,纯性能指标4达吸显,3、,*方提供的物资质量应符合国家,350,2024.1,积系统,4、,合同生效后，*方在6个月内完,(2)工艺腔室用抗腐蚀分子泵：分子泵抽速不低于,成货品运输、安装及调试,1300Ls,;抗腐蚀干泵：抽速不低于110m3h,5、提供1年免费维保；,具有可关闭的氮气吹扫功能；,6,包装及资料全新未使用」,(3)预真空室采用干泵（不可与主腔室共用），抽速,7、不能公开项目采购相关信息，包,不低于30m3h;,括数量及用途等，涉及物资的全部,(4)极限真空度（在12小时以内）,?￡5,技术资料等未经*方同意*方不得,向社会公开。,10Torr:,(5)工艺真空规，满量程100 mTorr,(6)自动调压节流阀：口径200mm,位置模式/压力,模式可任意切换；,(7)气路配置：每路气体配独立MFC流量计，最大量,程可选，可实现流量控制和流量偏差报警。,(8)气路采用EP级内抛光不锈钢管。,5.机台占地要求：长度s1800mm,宽度s900mm。,6.控制系统,(1)计算机检测和控制系统1套，采用windows操作,系统,(2)控制系统应能检测相关部件的运行状态；,(3)免费升级软件。,合计,350万,注：1，本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，采购项目具体情沉以最终发布的,采购公告和采购文件为准；,2.供应商可以通过军队采购平台反馈参与意向和意见建议。,3.公示时间：从公示日起30天,4.联系人及电话：黄老师*,长沙某部,**日
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