嘉庚创新实验室2023年12月政府采购意向
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嘉庚创新实验室2023年12月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将嘉庚创新实验室2023年度（第7批）采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 高真空有机金属蒸发镀膜系统 | 采购内容：高真空有机金属蒸发镀膜系统 采购数量：1套 主要功能或目标：可用于在玻璃基板（基板尺寸至少支持1200*1200mm）表面沉积金属、有机物、无机物等薄膜，传输系统为卧式1200mm。详见标书要求。 需满足的要求：1.真空极限：优于 2.0×10-5Pa；漏率：优于 5×10－8Pa*L/S（国家标准）；2.基片台：抽屉式结构，承载最大小于 150*150 样品，配气动基片大挡板。样品台可加热，加热温度 0-300℃，控温精度±1℃。基片与蒸发源距离可调，电机升降调节范围 380～280mm 可调等，详见标书要求。 | 300.* | 2023年12月 | 无 |
| 2 | 冷冻传输系统 | 采购内容：冷冻传输系统 采购数量：1套 主要功能或目标：用于与聚焦离子束扫描电子显微镜联用，实现在真空冷冻环境下进样、离子束加工以及样品转移，为冷冻透射电镜样品制备必要的转移系统。详见标书要求。 需满足的要求：冷台温度：室温～ -160 ℃，精度可控制在 1°C 以内，冷台可进行360°无限制旋转，XYZRT五轴自由度；转移传输杆：样品转移真空度5x10-5mbar，样品转移冷却温度＜-180℃，主动冷却时间＞2Hr。详见标书要求。 | 130.* | 2023年12月 | 无 |
| 3 | 波长色散型中能X射线发射谱谱仪 | 采购内容：波长色散型中能X射线发射谱谱仪 采购数量：1套 主要功能或目标：基于波长色散型中能X射线，进行价电子结构分析，对自旋、电子态密度和配位信息进行探测，该设备可以对无机材料的局域电子结构研究提供重要信息。详见标书要求。 需满足的要求：1. 波长色散型X射线发射谱；最大X射线通量：≥2*106光子/s @8keV；能量分辨率：1.5 eV @ S Kα1；2. 工作能量范围：2.3～5 keV；可测元素范围，3p元素K边、4d过渡金属L边、部分锕系元素M边；3. 重复性：重复扫描能量偏移<50meV，无需重复单色仪校准；4. 时间分辨率1s/谱，X射线发射谱的信噪比好于5等，详见招标要求。 | 300.* | 2023年12月 | 无 |
| 4 | 非接触式薄层电阻测试仪 | 采购内容：非接触式薄层电阻测试仪 采购数量：1套 主要功能或目标：运用涡流传感器，感应电流产生与测量对象的片电阻相关的电磁场。电涡流技术不依赖于表面特征或形貌，测量不会对被测薄膜产生物理影响。并通过多点探测后得到4寸、6寸、8寸片的外延状况或衬底状况，详见标书要求。 需满足的要求：测量方式：非接触式涡流传感器。测试区域：外延片边缘内缩3mm~10mm。最大样品厚度(与探测器距离)：<10mm。可测量薄膜厚度范围： 2 nm – 2 mm。方块电阻量测范围：0.1~100[Ohm/sq]，精度<3%，再现性(2σ)<1%。详见标书要求。 | 200.* | 2023年12月 | 无 |
| 5 | 高真空磁控溅射ITO沉积系统 | 采购内容：高真空磁控溅射ITO沉积系统 采购数量：1套 主要功能或目标：用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料。 需满足的要求：1. 按照ITO膜厚110nm，镀膜后方阻40-60Ω/□，穿透率>90%，厚度均匀性<3%；2. ITO厚度110nm膜层在Micro-LED的开启电压<3V.等，详见招标文件。 | 500.* | 2023年12月 | 无 |
| 6 | 反应式等离子体镀膜设备 | 采购内容：反应式等离子体镀膜设备 采购数量：1套 主要功能或目标：用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀，详见标书要求。 需满足的要求：系统含真空系统、等离子镀膜产生系统、电气控制系统、上/下料站，用于基板的单面镀膜， 支持蒸镀面积300x300x3.2 mm；3. 蒸镀材料ITO/IWO等，基片蒸镀表面温度≤100°C，100nm时表面透光率≥88%；4.膜厚均匀性≤5%，100nm厚度时表面方阻≤50Ω/□；5. 单片蒸镀节拍时长≤320S(@IWO膜厚100nm)。详见标书要求。 | 630.* | 2023年12月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
嘉庚创新实验室
2023年12月18日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将嘉庚创新实验室2023年度（第7批）采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 高真空有机金属蒸发镀膜系统 | 采购内容：高真空有机金属蒸发镀膜系统 采购数量：1套 主要功能或目标：可用于在玻璃基板（基板尺寸至少支持1200*1200mm）表面沉积金属、有机物、无机物等薄膜，传输系统为卧式1200mm。详见标书要求。 需满足的要求：1.真空极限：优于 2.0×10-5Pa；漏率：优于 5×10－8Pa*L/S（国家标准）；2.基片台：抽屉式结构，承载最大小于 150*150 样品，配气动基片大挡板。样品台可加热，加热温度 0-300℃，控温精度±1℃。基片与蒸发源距离可调，电机升降调节范围 380～280mm 可调等，详见标书要求。 | 300.* | 2023年12月 | 无 |
| 2 | 冷冻传输系统 | 采购内容：冷冻传输系统 采购数量：1套 主要功能或目标：用于与聚焦离子束扫描电子显微镜联用，实现在真空冷冻环境下进样、离子束加工以及样品转移，为冷冻透射电镜样品制备必要的转移系统。详见标书要求。 需满足的要求：冷台温度：室温～ -160 ℃，精度可控制在 1°C 以内，冷台可进行360°无限制旋转，XYZRT五轴自由度；转移传输杆：样品转移真空度5x10-5mbar，样品转移冷却温度＜-180℃，主动冷却时间＞2Hr。详见标书要求。 | 130.* | 2023年12月 | 无 |
| 3 | 波长色散型中能X射线发射谱谱仪 | 采购内容：波长色散型中能X射线发射谱谱仪 采购数量：1套 主要功能或目标：基于波长色散型中能X射线，进行价电子结构分析，对自旋、电子态密度和配位信息进行探测，该设备可以对无机材料的局域电子结构研究提供重要信息。详见标书要求。 需满足的要求：1. 波长色散型X射线发射谱；最大X射线通量：≥2*106光子/s @8keV；能量分辨率：1.5 eV @ S Kα1；2. 工作能量范围：2.3～5 keV；可测元素范围，3p元素K边、4d过渡金属L边、部分锕系元素M边；3. 重复性：重复扫描能量偏移<50meV，无需重复单色仪校准；4. 时间分辨率1s/谱，X射线发射谱的信噪比好于5等，详见招标要求。 | 300.* | 2023年12月 | 无 |
| 4 | 非接触式薄层电阻测试仪 | 采购内容：非接触式薄层电阻测试仪 采购数量：1套 主要功能或目标：运用涡流传感器，感应电流产生与测量对象的片电阻相关的电磁场。电涡流技术不依赖于表面特征或形貌，测量不会对被测薄膜产生物理影响。并通过多点探测后得到4寸、6寸、8寸片的外延状况或衬底状况，详见标书要求。 需满足的要求：测量方式：非接触式涡流传感器。测试区域：外延片边缘内缩3mm~10mm。最大样品厚度(与探测器距离)：<10mm。可测量薄膜厚度范围： 2 nm – 2 mm。方块电阻量测范围：0.1~100[Ohm/sq]，精度<3%，再现性(2σ)<1%。详见标书要求。 | 200.* | 2023年12月 | 无 |
| 5 | 高真空磁控溅射ITO沉积系统 | 采购内容：高真空磁控溅射ITO沉积系统 采购数量：1套 主要功能或目标：用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料。 需满足的要求：1. 按照ITO膜厚110nm，镀膜后方阻40-60Ω/□，穿透率>90%，厚度均匀性<3%；2. ITO厚度110nm膜层在Micro-LED的开启电压<3V.等，详见招标文件。 | 500.* | 2023年12月 | 无 |
| 6 | 反应式等离子体镀膜设备 | 采购内容：反应式等离子体镀膜设备 采购数量：1套 主要功能或目标：用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀，详见标书要求。 需满足的要求：系统含真空系统、等离子镀膜产生系统、电气控制系统、上/下料站，用于基板的单面镀膜， 支持蒸镀面积300x300x3.2 mm；3. 蒸镀材料ITO/IWO等，基片蒸镀表面温度≤100°C，100nm时表面透光率≥88%；4.膜厚均匀性≤5%，100nm厚度时表面方阻≤50Ω/□；5. 单片蒸镀节拍时长≤320S(@IWO膜厚100nm)。详见标书要求。 | 630.* | 2023年12月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
嘉庚创新实验室
2023年12月18日
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