上海交通大学2023年1月政府采购意向-大面积表面高能涂层及扫描系统金属表面处理设备-预算金额万元人民币
上海交通大学2023年1月政府采购意向-大面积表面高能涂层及扫描系统金属表面处理设备-预算金额万元人民币
大面积表面高能涂层及扫描系统 | |
项目所在采购意向: | 上海交通大学2023年1月政府采购意向 |
采购单位: | 上海交通大学 |
采购项目名称: | 大面积表面高能涂层及扫描系统 |
预算金额: | 205.*万元(人民币) |
采购品目: | A*金属表面处理设备 |
采购需求概况: | 大面积表面高能涂层及扫描系统1. 均匀有效涂层空间:直径300mm,高度100mm;2. 配置250口径磁悬浮涡轮分子泵1套,抽速不小于2000L/S;3. 配置弯管磁过滤阴极电弧2套,靶材直径100mm;4. 配置射频5英寸圆形磁控溅射靶1套,功率1000W,?13.56MHz;5. 配置高功率脉冲5英寸圆形磁控溅射靶1套,功率6KW,峰值电流750A;6. 配置直流5英寸磁控溅射靶2套,功率3KW;7. 配置阳极层离子源1套,功率5KW;8. 加热温度最高可达500℃;具体要求详见采购文件。供货期:签订合同之日起,10个日历日货到采购人制定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按照采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
预计采购时间: | 2024-01 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
大面积表面高能涂层及扫描系统 | |
项目所在采购意向: | 上海交通大学2023年1月政府采购意向 |
采购单位: | 上海交通大学 |
采购项目名称: | 大面积表面高能涂层及扫描系统 |
预算金额: | 205.*万元(人民币) |
采购品目: | A*金属表面处理设备 |
采购需求概况: | 大面积表面高能涂层及扫描系统1. 均匀有效涂层空间:直径300mm,高度100mm;2. 配置250口径磁悬浮涡轮分子泵1套,抽速不小于2000L/S;3. 配置弯管磁过滤阴极电弧2套,靶材直径100mm;4. 配置射频5英寸圆形磁控溅射靶1套,功率1000W,?13.56MHz;5. 配置高功率脉冲5英寸圆形磁控溅射靶1套,功率6KW,峰值电流750A;6. 配置直流5英寸磁控溅射靶2套,功率3KW;7. 配置阳极层离子源1套,功率5KW;8. 加热温度最高可达500℃;具体要求详见采购文件。供货期:签订合同之日起,10个日历日货到采购人制定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按照采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
预计采购时间: | 2024-01 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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