安徽大学2024年1月1政府采购意向
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安徽大学2024年1月1政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将安徽大学2024年1月1采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（万元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
| 1 | 安徽大学2024年高真空电子束蒸发薄膜制备系统采购项目 | 1. 真空腔室：要求采用304不锈钢材质，腔室长宽不大于800*800mm，高度不小于800mm，具体尺寸需现场测绘保证与手套箱密封结合良好；前后开门，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm；后门铰链式活开门，方便打开维护检修；配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔体需预留有不少于4个未使用的真空法兰接口，用于后期功能扩展；▲2. 真空系统：包含一台分子泵和一台前级泵，分子泵抽速≥5500m3/h，前级泵抽速≥50m3/h，需配备旁抽； 3. 真空极限：优于3.0×10-5Pa；4. 抽速：抽至5.0×10-4Pa≤30min；★5. 基片台：有效镀膜尺寸不小于6英寸方片，配一体式全尺寸挡板，挡板尺寸≥245mm，要求磁流体密封；基片台需要设计旋转，转速不少于0-30转/分且可自行调整，要求磁流体密封；基片具备原位等离子清洗功能，含13.56MHz高频电源及一路氩气MFC控制；预留可升级衬底加热、水冷的所有真空法兰接口；▲6. 电子束蒸发源：e型电子枪一支，枪功率不小于10Kw，电子枪高压稳定性：±1%；束流稳定性：±2%；抑弧反应时间＜10ms；配6穴直冷式坩埚，坩埚配有电动防污挡板，具有高压灭弧自动复位功能；7.膜厚监控系统：采用薄膜沉积监控仪在线监测、控制蒸镀速率和膜厚，1只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.1ā/s，厚度显示分辨率±0.1ā；8. 操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；9.报警保护：缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、智能防误操作逻辑保护等；10.其它：配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机1台，制冷量不小于6kw；静音气泵1台，额定压力0.7MPa，最大流量115L/min，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作。 | 51 | 2024年02月 | 不专门面向中小企业采购：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，或者存在可能影响政府采购目标实现的情形 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
安徽大学
2024年01月04日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将安徽大学2024年1月1采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（万元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
| 1 | 安徽大学2024年高真空电子束蒸发薄膜制备系统采购项目 | 1. 真空腔室：要求采用304不锈钢材质，腔室长宽不大于800*800mm，高度不小于800mm，具体尺寸需现场测绘保证与手套箱密封结合良好；前后开门，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm；后门铰链式活开门，方便打开维护检修；配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔体需预留有不少于4个未使用的真空法兰接口，用于后期功能扩展；▲2. 真空系统：包含一台分子泵和一台前级泵，分子泵抽速≥5500m3/h，前级泵抽速≥50m3/h，需配备旁抽； 3. 真空极限：优于3.0×10-5Pa；4. 抽速：抽至5.0×10-4Pa≤30min；★5. 基片台：有效镀膜尺寸不小于6英寸方片，配一体式全尺寸挡板，挡板尺寸≥245mm，要求磁流体密封；基片台需要设计旋转，转速不少于0-30转/分且可自行调整，要求磁流体密封；基片具备原位等离子清洗功能，含13.56MHz高频电源及一路氩气MFC控制；预留可升级衬底加热、水冷的所有真空法兰接口；▲6. 电子束蒸发源：e型电子枪一支，枪功率不小于10Kw，电子枪高压稳定性：±1%；束流稳定性：±2%；抑弧反应时间＜10ms；配6穴直冷式坩埚，坩埚配有电动防污挡板，具有高压灭弧自动复位功能；7.膜厚监控系统：采用薄膜沉积监控仪在线监测、控制蒸镀速率和膜厚，1只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.1ā/s，厚度显示分辨率±0.1ā；8. 操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；9.报警保护：缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、智能防误操作逻辑保护等；10.其它：配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机1台，制冷量不小于6kw；静音气泵1台，额定压力0.7MPa，最大流量115L/min，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作。 | 51 | 2024年02月 | 不专门面向中小企业采购：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，或者存在可能影响政府采购目标实现的情形 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
安徽大学
2024年01月04日
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