西安电子科技大学2024年3月政府采购意向-电子束光刻机电子工业生产设备-预算金额万元人民币
发送至邮箱
西安电子科技大学2024年3月政府采购意向-电子束光刻机电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2024年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 1600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 标的：电子束光刻机数量：1台主要技术指标：1.采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于50kV。2.束电流范围为~300 pA到40 nA。3.图形发生器扫描频率为50MHz，20bit分辨率。4.设备最大写场不小于1000μm。5.设备可实现自动聚焦、象散、写场畸变等校准功能；实现多样片自动套刻曝光。6.配备激光干涉工作台，XY方向运动行程不小于150 mm×150 mm。激光干涉仪测量分辨率不大于1nm。7. 通过精密控制样品台连续运动，实现无写场拼接曝光模式，适合于长线条和周期结构的曝光8. 设备配备自动高度传感器，实现样品表面高度的自动探测和聚焦。9. 设备配备二次电子探测器，可实现对准标记识别、电子束成像的功能。10. 配备一个通用样品架，可承载散片或4英寸晶圆及以下的样片。配备3inch，4inch，6inch晶圆样品架，多样片样品架各一个。 |
| 预计采购时间： | 2024-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2024年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 1600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 标的：电子束光刻机数量：1台主要技术指标：1.采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于50kV。2.束电流范围为~300 pA到40 nA。3.图形发生器扫描频率为50MHz，20bit分辨率。4.设备最大写场不小于1000μm。5.设备可实现自动聚焦、象散、写场畸变等校准功能；实现多样片自动套刻曝光。6.配备激光干涉工作台，XY方向运动行程不小于150 mm×150 mm。激光干涉仪测量分辨率不大于1nm。7. 通过精密控制样品台连续运动，实现无写场拼接曝光模式，适合于长线条和周期结构的曝光8. 设备配备自动高度传感器，实现样品表面高度的自动探测和聚焦。9. 设备配备二次电子探测器，可实现对准标记识别、电子束成像的功能。10. 配备一个通用样品架，可承载散片或4英寸晶圆及以下的样片。配备3inch，4inch，6inch晶圆样品架，多样片样品架各一个。 |
| 预计采购时间： | 2024-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
