浙江大学2024年3至4月政府采购意向-电子束镀膜设备电子工业生产设备-预算金额万元人民币

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浙江大学2024年3至4月政府采购意向-电子束镀膜设备电子工业生产设备-预算金额万元人民币

电子束镀膜设备
项目所在采购意向: 浙江大学2024年3至4月政府采购意向
采购单位: 浙江大学
采购项目名称: 电子束镀膜设备
预算金额: 162.*万元(人民币)
采购品目:
A* 电子工业生产设备
采购需求概况:
本次购买的电子束镀膜设备(1台)是微纳加工中的重要设备,主要用于纳米和微纳电子器件加工,用于高质量、厚度精确控制的金属和氧化物薄膜的生长。需配备1套6坩埚电子束蒸发源,坩埚容量不小于7cc,配有不小于6kW供电电源,最高电压不低于10kV,电流不低于600mA,在清洁干燥的系统中极限真空度优于9*10-8Torr。
预计采购时间: 2024-04
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,浙江
电子束镀膜设备
项目所在采购意向: 浙江大学2024年3至4月政府采购意向
采购单位: 浙江大学
采购项目名称: 电子束镀膜设备
预算金额: 162.*万元(人民币)
采购品目:
A* 电子工业生产设备
采购需求概况:
本次购买的电子束镀膜设备(1台)是微纳加工中的重要设备,主要用于纳米和微纳电子器件加工,用于高质量、厚度精确控制的金属和氧化物薄膜的生长。需配备1套6坩埚电子束蒸发源,坩埚容量不小于7cc,配有不小于6kW供电电源,最高电压不低于10kV,电流不低于600mA,在清洁干燥的系统中极限真空度优于9*10-8Torr。
预计采购时间: 2024-04
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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