华中科技大学2024年3至5月政府意向-微环控系统专用制冷空调设备-预算金额万元人民币招标预告
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华中科技大学2024年3至5月政府意向-微环控系统专用制冷空调设备-预算金额万元人民币招标预告
| 微环控系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2024年3至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 微环控系统 |
| 预算金额： | 165.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*专用制冷空调设备 |
| 采购需求概况 ： | 包括：1.气温控制系统 (1台），应具有高精度气温控制组件及系统，能精确测量和快速响应调节气体温度，能实现对温度的仿真模拟和自动化控制研究，以满足后期高端集成电路装备所需的气温条件，致力超稳定气温控制技术的发展和创新，提高研究效率。2.水温控制系统 (1台），应提供稳定精密的水温控制组件及系统，以便后期在此基础上开展对光刻机等超精密仪器微环境控制核心技术的研究，为超稳定水温控制技术及应用奠定基础，提高研究效率。3.湿度控制系统 (1台），应提供稳定精密的空气湿度控制组件及系统，以便后期在此基础上开展对相关算法、模型以及光刻机等超精密仪器微环境技术的研究，为超稳定空气湿度控制及应用奠定基础，提高研究效率。合同签订之日起90个工作日内完成设备的安装调试及验收。货物到达后，由双方共同参与对货物的质量、规格、数量、软件安装和运行状况验收；供方需承担运输、安装过程中质量、安全等问题，同时需提供操作培训和质保期内的免费维修服务。 |
| 预计采购时间： | 2024-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 微环控系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2024年3至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 微环控系统 |
| 预算金额： | 165.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*专用制冷空调设备 |
| 采购需求概况 ： | 包括：1.气温控制系统 (1台），应具有高精度气温控制组件及系统，能精确测量和快速响应调节气体温度，能实现对温度的仿真模拟和自动化控制研究，以满足后期高端集成电路装备所需的气温条件，致力超稳定气温控制技术的发展和创新，提高研究效率。2.水温控制系统 (1台），应提供稳定精密的水温控制组件及系统，以便后期在此基础上开展对光刻机等超精密仪器微环境控制核心技术的研究，为超稳定水温控制技术及应用奠定基础，提高研究效率。3.湿度控制系统 (1台），应提供稳定精密的空气湿度控制组件及系统，以便后期在此基础上开展对相关算法、模型以及光刻机等超精密仪器微环境技术的研究，为超稳定空气湿度控制及应用奠定基础，提高研究效率。合同签订之日起90个工作日内完成设备的安装调试及验收。货物到达后，由双方共同参与对货物的质量、规格、数量、软件安装和运行状况验收；供方需承担运输、安装过程中质量、安全等问题，同时需提供操作培训和质保期内的免费维修服务。 |
| 预计采购时间： | 2024-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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