深圳技术大学激光直写光刻机意向公开-其他仪器仪表
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深圳技术大学激光直写光刻机意向公开-其他仪器仪表
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 激光直写光刻机 |
| 预算金额（元）: | 6,200,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟购置激光直写光刻机一套，配置参数包括： 1.光刻尺寸：晶圆8英寸，可向下兼容； 2.光刻分辨率：0.3um、0.6um、1um； 3.直写速度：最高分辨率条件下直写速度≧3 mm2/min； 最快直写速度≧150 mm2/min； 4.套刻精度：正面±0.5um、背面±1um； 5.半导体激光器波段405nm； 6.激光能量：300mW； 7.灰度光刻,255阶; 8.数据软件具备图形修正功能； 9.配备气体测量自动聚焦系统、光学测量自动聚焦系统。 |
| 联系人: | 容炎森 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2024-05 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 激光直写光刻机 |
| 预算金额（元）: | 6,200,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟购置激光直写光刻机一套，配置参数包括： 1.光刻尺寸：晶圆8英寸，可向下兼容； 2.光刻分辨率：0.3um、0.6um、1um； 3.直写速度：最高分辨率条件下直写速度≧3 mm2/min； 最快直写速度≧150 mm2/min； 4.套刻精度：正面±0.5um、背面±1um； 5.半导体激光器波段405nm； 6.激光能量：300mW； 7.灰度光刻,255阶; 8.数据软件具备图形修正功能； 9.配备气体测量自动聚焦系统、光学测量自动聚焦系统。 |
| 联系人: | 容炎森 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2024-05 |
| 备注: | 无 |
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