深圳技术大学快速退火炉意向公开-其他仪器仪表
深圳技术大学快速退火炉意向公开-其他仪器仪表
采购单位: | 深圳技术大学 |
项目名称: | 快速退火炉 |
预算金额(元): | 1,410,000.000 |
采购品目: | 其他仪器仪表 |
采购需求概况: | 拟购置快速退火炉一套,配置参数包括: 1.8 寸向下兼容; 2.工艺温度:300 度-1150 度; 3.升温速率:硅衬底 10-100 度/秒,可设定; 4.降温速率:硅衬底 10-100 度/秒; 5.温控均匀性:≤5% ; 6.热源:钨卤素灯; 7.测温系统: K 型热电偶测温,双红外线感应器的测温。 |
联系人: | 容炎森 |
联系电话: | 0755-* |
预计采购时间: | 2024-05 |
备注: | 无 |
采购单位: | 深圳技术大学 |
项目名称: | 快速退火炉 |
预算金额(元): | 1,410,000.000 |
采购品目: | 其他仪器仪表 |
采购需求概况: | 拟购置快速退火炉一套,配置参数包括: 1.8 寸向下兼容; 2.工艺温度:300 度-1150 度; 3.升温速率:硅衬底 10-100 度/秒,可设定; 4.降温速率:硅衬底 10-100 度/秒; 5.温控均匀性:≤5% ; 6.热源:钨卤素灯; 7.测温系统: K 型热电偶测温,双红外线感应器的测温。 |
联系人: | 容炎森 |
联系电话: | 0755-* |
预计采购时间: | 2024-05 |
备注: | 无 |
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