深圳国际量子研究院3生长腔3英寸分子束外延设备意向公开-其他机械设备
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深圳国际量子研究院3生长腔3英寸分子束外延设备意向公开-其他机械设备
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 3生长腔3英寸分子束外延设备 |
| 预算金额（元）: | 5,800,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 依托于本项目，实现多种低维材料生长，3个生长腔体通过UFO互联，Loadlock进样，配预处理室，生长室1为磷化物生长系统，生长室2&3需可扩展能力。 设备整体指标需满足：3个生长室均具有3寸样品制备能力；双层水冷，高真空度，本底真空优于1.0x10-10mbar；生长室具有多至8个源炉接口高均匀性极坐标控制加热能力，可至1000℃自动控制系统等。 |
| 预计采购时间: | 2024-3 |
| 联系人: | 谭老师 |
| 联系电话: | * |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 3生长腔3英寸分子束外延设备 |
| 预算金额（元）: | 5,800,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 依托于本项目，实现多种低维材料生长，3个生长腔体通过UFO互联，Loadlock进样，配预处理室，生长室1为磷化物生长系统，生长室2&3需可扩展能力。 设备整体指标需满足：3个生长室均具有3寸样品制备能力；双层水冷，高真空度，本底真空优于1.0x10-10mbar；生长室具有多至8个源炉接口高均匀性极坐标控制加热能力，可至1000℃自动控制系统等。 |
| 预计采购时间: | 2024-3 |
| 联系人: | 谭老师 |
| 联系电话: | * |
| 备注: | 无 |
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