松山湖材料实验室2024年02月至2024年03月政府采购意向
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松山湖材料实验室2024年02月至2024年03月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年02月至2024年03月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 松山湖材料实验室全自动匀胶清洗机采购项目 | 标的名称：全自动匀胶清洗机 标的数量：1 主要功能或目标：主要用于分散液的均匀涂布，提高整个制程的效率和良品率 需满足的要求："1.处理晶圆尺寸：兼容6/8寸晶圆； 2.机器人：类型：双臂真空吸附机器人；自由度：4轴（R1、R2、Z、T）；定位精度：±0.1mm； 3.机械对中：数量1，对中精度：±0.2mm； 4.匀胶单元数量：2；主轴转速：最大转速5000rpm，转速精度±1rpm，最大加速度20000rpm/s；光刻胶管路：2路；供胶方式：两个匀胶单元共4个胶泵； 5.热盘单元数量：4； 6.冷盘单元数量：2" | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 2,600,000.00 | 2024年03月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
2024年02月01日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年02月至2024年03月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 松山湖材料实验室全自动匀胶清洗机采购项目 | 标的名称：全自动匀胶清洗机 标的数量：1 主要功能或目标：主要用于分散液的均匀涂布，提高整个制程的效率和良品率 需满足的要求："1.处理晶圆尺寸：兼容6/8寸晶圆； 2.机器人：类型：双臂真空吸附机器人；自由度：4轴（R1、R2、Z、T）；定位精度：±0.1mm； 3.机械对中：数量1，对中精度：±0.2mm； 4.匀胶单元数量：2；主轴转速：最大转速5000rpm，转速精度±1rpm，最大加速度20000rpm/s；光刻胶管路：2路；供胶方式：两个匀胶单元共4个胶泵； 5.热盘单元数量：4； 6.冷盘单元数量：2" | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 2,600,000.00 | 2024年03月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
2024年02月01日
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