松山湖材料实验室2024年02月至2024年03月政府采购意向
松山湖材料实验室2024年02月至2024年03月政府采购意向
松山湖材料实验室2024年02月至2024年03月政府采购意向
发布机构: 发布时间:2024-02-01 10:33:35
为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将本单位2024年02月至2024年03月采购意向公开如下:
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
---|---|---|---|---|---|---|
1 | 松山湖材料实验室全自动匀胶清洗机采购项目 | 标的名称:全自动匀胶清洗机 标的数量:1 主要功能或目标:主要用于分散液的均匀涂布,提高整个制程的效率和良品率 需满足的要求:"1.处理晶圆尺寸:兼容6/8寸晶圆; 2.机器人:类型:双臂真空吸附机器人;自由度:4轴(R1、R2、Z、T);定位精度:±0.1mm; 3.机械对中:数量1,对中精度:±0.2mm; 4.匀胶单元数量:2;主轴转速:最大转速5000rpm,转速精度±1rpm,最大加速度20000rpm/s;光刻胶管路:2路;供胶方式:两个匀胶单元共4个胶泵; 5.热盘单元数量:4; 6.冷盘单元数量:2" | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 2,600,000.00 | 2024年03月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
2024年02月01日
松山湖材料实验室2024年02月至2024年03月政府采购意向
发布机构: 发布时间:2024-02-01 10:33:35
为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将本单位2024年02月至2024年03月采购意向公开如下:
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
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1 | 松山湖材料实验室全自动匀胶清洗机采购项目 | 标的名称:全自动匀胶清洗机 标的数量:1 主要功能或目标:主要用于分散液的均匀涂布,提高整个制程的效率和良品率 需满足的要求:"1.处理晶圆尺寸:兼容6/8寸晶圆; 2.机器人:类型:双臂真空吸附机器人;自由度:4轴(R1、R2、Z、T);定位精度:±0.1mm; 3.机械对中:数量1,对中精度:±0.2mm; 4.匀胶单元数量:2;主轴转速:最大转速5000rpm,转速精度±1rpm,最大加速度20000rpm/s;光刻胶管路:2路;供胶方式:两个匀胶单元共4个胶泵; 5.热盘单元数量:4; 6.冷盘单元数量:2" | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 2,600,000.00 | 2024年03月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
2024年02月01日
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