电子工业专用生产设备

接触式紫外光刻机1台，满足以下指标： 1. 最大衬底尺寸：6英寸圆形，并且在配合对应的夹具时，可以向下兼容各类不同尺寸的衬底及不规则小片。 2. 基于主流操作系统的图形化控制软件，软件操作方便快捷，具有工艺编程、设备各部件控制、设备状态监控等功能，采用分级式用户管理，可设置多个用户，方便设备管理；设备配备专用的操作摇杆，进行显微镜、对准台等部件的移动和操作。 3.具有稳定可靠的三轴式晶圆楔形误差补偿系统，可对晶圆和掩模版之间的平行度进行自动调平。 4.曝光光源：UV LED曝光光源支持 365nm(i线)， 405nm(h线)， 435nm(g线），并且可以支持输出光谱的任意编辑, 可以通过软件可以控制每种波长的输出光强在关闭或者15%~100%之间调节。 5. 配置微透镜阵列式光学系统以适应在不同的工艺条件下对消减衍射影响的要求，可在同一设备上实现"高分辨率"和"大景深"两种模式曝光，两种模式随时切换，切换时间在5分钟以内。 6. 分辨率：优于1.0um (i线，光刻胶厚度1um，硬，等间距图形)。 优于2.5um (i线，光刻胶厚度1um，曝光间隙20um，等间距图形)。 7. 365nm下的光强 55mw/cm2，405nm下的光强 130mw/cm2。 8. 光强均匀度：优于±2.5％，其中在最大晶圆尺寸区域测量至少9个点，均匀性 = ± （最大值 – 最小值） / （最大值 + 最小值）。 9. 曝光工艺控制：用户可以通过设定曝光时间来控制曝光剂量。 10. 支持正面对准和背面对准两种模式。 11. 正面对准精度±0.5um，背面对准精度±1.0um。 12. 采用全电动对准台，对准台在X-Y及Theta轴方向由马达驱动，可以通过多功能摇杆控制。 13. 对准台行程的范围： X：±5mm； Y：±5mm； θ：±5°。货期：签订合同后8个月内。质保期：1年及以上。

电子工业专用生产设备

接触式紫外光刻机1台，满足以下指标： 1. 最大衬底尺寸：6英寸圆形，并且在配合对应的夹具时，可以向下兼容各类不同尺寸的衬底及不规则小片。 2. 基于主流操作系统的图形化控制软件，软件操作方便快捷，具有工艺编程、设备各部件控制、设备状态监控等功能，采用分级式用户管理，可设置多个用户，方便设备管理；设备配备专用的操作摇杆，进行显微镜、对准台等部件的移动和操作。 3.具有稳定可靠的三轴式晶圆楔形误差补偿系统，可对晶圆和掩模版之间的平行度进行自动调平。 4.曝光光源：UV LED曝光光源支持 365nm(i线)， 405nm(h线)， 435nm(g线），并且可以支持输出光谱的任意编辑, 可以通过软件可以控制每种波长的输出光强在关闭或者15%~100%之间调节。 5. 配置微透镜阵列式光学系统以适应在不同的工艺条件下对消减衍射影响的要求，可在同一设备上实现"高分辨率"和"大景深"两种模式曝光，两种模式随时切换，切换时间在5分钟以内。 6. 分辨率：优于1.0um (i线，光刻胶厚度1um，硬，等间距图形)。 优于2.5um (i线，光刻胶厚度1um，曝光间隙20um，等间距图形)。 7. 365nm下的光强 55mw/cm2，405nm下的光强 130mw/cm2。 8. 光强均匀度：优于±2.5％，其中在最大晶圆尺寸区域测量至少9个点，均匀性 = ± （最大值 – 最小值） / （最大值 + 最小值）。 9. 曝光工艺控制：用户可以通过设定曝光时间来控制曝光剂量。 10. 支持正面对准和背面对准两种模式。 11. 正面对准精度±0.5um，背面对准精度±1.0um。 12. 采用全电动对准台，对准台在X-Y及Theta轴方向由马达驱动，可以通过多功能摇杆控制。 13. 对准台行程的范围： X：±5mm； Y：±5mm； θ：±5°。货期：签订合同后8个月内。质保期：1年及以上。