中国科学院上海硅酸盐研究所2024年2至12月政府采购意向-超大尺寸氟化物单晶坩埚下降炉工业电热设备电炉-预算金额万元人民币
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中国科学院上海硅酸盐研究所2024年2至12月政府采购意向-超大尺寸氟化物单晶坩埚下降炉工业电热设备电炉-预算金额万元人民币
| 超大尺寸氟化物单晶坩埚下降炉 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 上海硅酸盐研究所2024年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 上海硅酸盐研究所 |
| 采购项目名称： | 超大尺寸氟化物单晶坩埚下降炉 |
| 预算金额： | 180.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工业电热设备（电炉） |
| 采购需求概况： | 1）腔体内径达到Ф2000mm，极限真空度达到5×10-4Pa（冷态、空炉），12小时保压真空指标≤10Pa（冷态空炉），并配备多气路及气体流量监测功能，满足Ar或Ar/CF4混合气氛的使用要求；2）高纯石墨制品保温、电阻加热，功率输出精度优于2‰3）慢速直线运动速度范围0.1～10mm/h，可分段编程；慢速直线运动精度达到0.003mm；提拉爬行精度达到0.01mm；坩埚轴相对于炉底板的水平度/垂直度≤0.05交货期5个月以内，保修期2年。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 超大尺寸氟化物单晶坩埚下降炉 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 上海硅酸盐研究所2024年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 上海硅酸盐研究所 |
| 采购项目名称： | 超大尺寸氟化物单晶坩埚下降炉 |
| 预算金额： | 180.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工业电热设备（电炉） |
| 采购需求概况： | 1）腔体内径达到Ф2000mm，极限真空度达到5×10-4Pa（冷态、空炉），12小时保压真空指标≤10Pa（冷态空炉），并配备多气路及气体流量监测功能，满足Ar或Ar/CF4混合气氛的使用要求；2）高纯石墨制品保温、电阻加热，功率输出精度优于2‰3）慢速直线运动速度范围0.1～10mm/h，可分段编程；慢速直线运动精度达到0.003mm；提拉爬行精度达到0.01mm；坩埚轴相对于炉底板的水平度/垂直度≤0.05交货期5个月以内，保修期2年。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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