中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年2至12月政府采购意向-原位Mask器件级图案化分子束外延设备其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币
发送至邮箱
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年2至12月政府采购意向-原位Mask器件级图案化分子束外延设备其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币
| 原位Mask器件级图案化分子束外延设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 原位Mask器件级图案化分子束外延设备 |
| 预算金额： | 550.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 本设备用于沉积高精度掩膜200 nm以下的图形生长，系统集MBE薄膜沉积生长、样品传递及原位监测功能于一体，设计生长腔体集成薄膜制备源炉，具备可旋转升温样品台、磁力杆及配套抓手、RHHED、QCM、四极质谱仪等仪器、横向安装的可倾斜的Manipulator，可满足图形化制备，且能达到低温50 K功能。本系统包含低温MBE生长腔、预处理腔、存储腔、3个K-cell源、2个裂解源以及一个电子束蒸发源；各腔室利用UFO（圆形样品传样腔）进行连接，实现自动化传样。 |
| 预计采购时间： | 2024-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原位Mask器件级图案化分子束外延设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 原位Mask器件级图案化分子束外延设备 |
| 预算金额： | 550.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 本设备用于沉积高精度掩膜200 nm以下的图形生长，系统集MBE薄膜沉积生长、样品传递及原位监测功能于一体，设计生长腔体集成薄膜制备源炉，具备可旋转升温样品台、磁力杆及配套抓手、RHHED、QCM、四极质谱仪等仪器、横向安装的可倾斜的Manipulator，可满足图形化制备，且能达到低温50 K功能。本系统包含低温MBE生长腔、预处理腔、存储腔、3个K-cell源、2个裂解源以及一个电子束蒸发源；各腔室利用UFO（圆形样品传样腔）进行连接，实现自动化传样。 |
| 预计采购时间： | 2024-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
