上海市检测中心2024年03月政府采购意向-半导体工艺气体检测系统
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上海市检测中心2024年03月政府采购意向-半导体工艺气体检测系统
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 半导体工艺气体检测系统 | 主要用于半导体工艺用电子特气的质量评价，半导体工艺废气、氢燃料电池燃烧气、烟气和发动机尾气等成分的定性分析和定量研究，也可用于半导体工艺废气处理设备分解移除效率的评价和研究 | *.00 | 2024-03 |
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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 半导体工艺气体检测系统 | 主要用于半导体工艺用电子特气的质量评价，半导体工艺废气、氢燃料电池燃烧气、烟气和发动机尾气等成分的定性分析和定量研究，也可用于半导体工艺废气处理设备分解移除效率的评价和研究 | *.00 | 2024-03 |
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