深圳技术大学电子束蒸发镀膜机意向公开-其他仪器仪表
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深圳技术大学电子束蒸发镀膜机意向公开-其他仪器仪表
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 电子束蒸发镀膜机 |
| 预算金额（元）: | 2,500,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购电子束蒸发镀膜机1台，配置参数包括： 1.腔体极限真空≤8E-8Torr，开腔后从大气抽到5E-6Torr小于30分钟； 2.一台不小于10KW电子束枪电源，X/Y扫描；坩埚的数目不少于6个，每个坩埚容量不小于15cc，带流量感应探头的冷却水回路。 3.真空计及气体流量控制：两路气路N2和O2,一个质量流量计控制O2，质量流量计（工艺腔体）最大流量100sccm。 4.配置一套晶振控制器，集成于系统PLC可用于蒸发源和挡板的自动操作；双探头晶振，可以自动切换。 5.水冷工件台：直径8英寸旋转工件台，转速0-20RPM可调节，满足8英寸向下及碎片基板的蒸镀需求。 6.膜厚均匀性：8英寸膜厚片内±3%，片间±3%；厚膜精度优于0.1A。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2024-03 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 电子束蒸发镀膜机 |
| 预算金额（元）: | 2,500,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购电子束蒸发镀膜机1台，配置参数包括： 1.腔体极限真空≤8E-8Torr，开腔后从大气抽到5E-6Torr小于30分钟； 2.一台不小于10KW电子束枪电源，X/Y扫描；坩埚的数目不少于6个，每个坩埚容量不小于15cc，带流量感应探头的冷却水回路。 3.真空计及气体流量控制：两路气路N2和O2,一个质量流量计控制O2，质量流量计（工艺腔体）最大流量100sccm。 4.配置一套晶振控制器，集成于系统PLC可用于蒸发源和挡板的自动操作；双探头晶振，可以自动切换。 5.水冷工件台：直径8英寸旋转工件台，转速0-20RPM可调节，满足8英寸向下及碎片基板的蒸镀需求。 6.膜厚均匀性：8英寸膜厚片内±3%，片间±3%；厚膜精度优于0.1A。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2024-03 |
| 备注: | 无 |
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