深圳技术大学离子注入机意向公开-其他仪器仪表
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深圳技术大学离子注入机意向公开-其他仪器仪表
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 离子注入机 |
| 预算金额（元）: | 12,160,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟购置的离子注入机一套，配置参数包括： 1.适用尺寸：2、3、4、6英寸晶圆以及不规则碎片； 2.注入能量：低能量注入：5 ~30keV，波动±1%;高能量注入：30 ~100keV，波动≤±0.5keV、100keV ~200keV，波动≤±0.5%； 3.注入温度：常温至700℃可调，加热台采用水冷或气冷方式降温； 4.注入角度：注入角可0°或7°，样品旋转角度0°至23°可调； 5.注入剂量精准度≤1.5%； 6.离子注入剂量范围：1×1011 at/cm2 ~1×1016 at/cm2； 7.离子加速系统的加速电源，输出5~200KeV，加速管内配有永磁体被，系统配减速的电源装置； 8.离子源真空系统采用分子泵和干式机械泵两级真空泵组，真空度≤7.0*10-4 Pa；离子束汇聚系统真空度≤7.0*10-5 Pa；注入腔体真空度≤7.0*10-5 Pa； 9.离子提取系统的离子提取电压：5~30kV, 配备变压器；离子提取电极加速器电压≤-1.6KV； 10.离子质量分析系统质量范围为1~80amu（原子质量）（当离子提取能量为30keV时），系统配备质谱分析功能：90°偏转的电磁铁分析仪，输出电流10~55A； |
| 联系人: | 吴国才 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2024-02 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 离子注入机 |
| 预算金额（元）: | 12,160,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟购置的离子注入机一套，配置参数包括： 1.适用尺寸：2、3、4、6英寸晶圆以及不规则碎片； 2.注入能量：低能量注入：5 ~30keV，波动±1%;高能量注入：30 ~100keV，波动≤±0.5keV、100keV ~200keV，波动≤±0.5%； 3.注入温度：常温至700℃可调，加热台采用水冷或气冷方式降温； 4.注入角度：注入角可0°或7°，样品旋转角度0°至23°可调； 5.注入剂量精准度≤1.5%； 6.离子注入剂量范围：1×1011 at/cm2 ~1×1016 at/cm2； 7.离子加速系统的加速电源，输出5~200KeV，加速管内配有永磁体被，系统配减速的电源装置； 8.离子源真空系统采用分子泵和干式机械泵两级真空泵组，真空度≤7.0*10-4 Pa；离子束汇聚系统真空度≤7.0*10-5 Pa；注入腔体真空度≤7.0*10-5 Pa； 9.离子提取系统的离子提取电压：5~30kV, 配备变压器；离子提取电极加速器电压≤-1.6KV； 10.离子质量分析系统质量范围为1~80amu（原子质量）（当离子提取能量为30keV时），系统配备质谱分析功能：90°偏转的电磁铁分析仪，输出电流10~55A； |
| 联系人: | 吴国才 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2024-02 |
| 备注: | 无 |
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