北京大学2024年4月政府采购意向-原子层沉积系统其他分析仪器-预算金额万元人民币
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北京大学2024年4月政府采购意向-原子层沉积系统其他分析仪器-预算金额万元人民币
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2024年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 430.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他分析仪器 |
| 采购需求概况： | 该设备用于制备原子层厚度介质薄膜，重点满足高端产业人才课程实训平台建设需求，同时提升集成电路（IC）和微机电系统（MEMS）芯片制造过程中超薄膜材料各向同性制备能力。主要制备材料包括Al2O3、HfO2、TiO2、SiO2、AlN、TiN、Pt、Ir等。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2024年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 430.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他分析仪器 |
| 采购需求概况： | 该设备用于制备原子层厚度介质薄膜，重点满足高端产业人才课程实训平台建设需求，同时提升集成电路（IC）和微机电系统（MEMS）芯片制造过程中超薄膜材料各向同性制备能力。主要制备材料包括Al2O3、HfO2、TiO2、SiO2、AlN、TiN、Pt、Ir等。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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