上海交通大学2023年12月政府采购意向-大面积表面高能涂层及扫描系统金属表面处理设备-预算金额万元人民币
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上海交通大学2023年12月政府采购意向-大面积表面高能涂层及扫描系统金属表面处理设备-预算金额万元人民币
| 大面积表面高能涂层及扫描系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 大面积表面高能涂层及扫描系统 |
| 预算金额： | 210.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*金属表面处理设备 |
| 采购需求概况： | 大面积表面高能涂层及扫描系统主要技术指标：1.均匀有效涂层空间：直径300mm，高度100mm；2.配置250口径磁悬浮涡轮分子泵1套，抽速不小于2000L/S;3.配置弯管磁过滤阴极电弧2套，靶材直径100mm；4.配置射频5英寸圆形磁控溅射靶1套，功率1000W， 13.56MHz；5.配置高功率脉冲5英寸圆形磁控溅射靶1套，功率6KW，峰值电流750A；6.配置直流5英寸磁控溅射靶2套，功率3KW；7.配置阳极层离子源1套，功率5KW；8.加热温度最高可达500℃； |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 大面积表面高能涂层及扫描系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 大面积表面高能涂层及扫描系统 |
| 预算金额： | 210.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*金属表面处理设备 |
| 采购需求概况： | 大面积表面高能涂层及扫描系统主要技术指标：1.均匀有效涂层空间：直径300mm，高度100mm；2.配置250口径磁悬浮涡轮分子泵1套，抽速不小于2000L/S;3.配置弯管磁过滤阴极电弧2套，靶材直径100mm；4.配置射频5英寸圆形磁控溅射靶1套，功率1000W， 13.56MHz；5.配置高功率脉冲5英寸圆形磁控溅射靶1套，功率6KW，峰值电流750A；6.配置直流5英寸磁控溅射靶2套，功率3KW；7.配置阳极层离子源1套，功率5KW；8.加热温度最高可达500℃； |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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