中国科学院大学2024年2至8月政府采购意向-中科院北京纳米能源与系统研究所微纳制造与加工平台/感应耦合等离子体刻蚀机项目电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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中国科学院大学2024年2至8月政府采购意向-中科院北京纳米能源与系统研究所微纳制造与加工平台/感应耦合等离子体刻蚀机项目电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| (略) 北京纳米能源与系统研究所微纳制造与加工平台/感应耦合等离子体刻蚀机项目 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 大学2024年2至8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 大学 |
| 采购项目名称： | (略) 北京纳米能源与系统研究所微纳制造与加工平台/感应耦合等离子体刻蚀机项目 |
| 预算金额： | 455.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购感应耦合等离子体刻蚀系统1套。该系统可以实现均匀地、逐个原子层地精确刻蚀，获得极高的刻蚀选择率，是研制高性能氮化镓高电子迁移率晶体管的关键设备。所用的弱等离子体对器件的电学损伤也更小，同时在超薄的二维电子气层上实现原子层级的减薄与刻蚀能极大改善器件的输出性能。目前ALE可实现GaN、AlGaN、Si等材料在原子层精度的图形化刻蚀，是未来符合摩尔定律、器件尺寸逐渐减小必不可少的工艺。氮化镓功率器件是国家在电力电子领域的重大需求，配备这台ALE感应耦合等离子体刻蚀系统，才能提供稳定、无交叉污染、原子层级的高精度刻蚀，完成国家重大科研任务。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| (略) 北京纳米能源与系统研究所微纳制造与加工平台/感应耦合等离子体刻蚀机项目 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 大学2024年2至8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 大学 |
| 采购项目名称： | (略) 北京纳米能源与系统研究所微纳制造与加工平台/感应耦合等离子体刻蚀机项目 |
| 预算金额： | 455.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购感应耦合等离子体刻蚀系统1套。该系统可以实现均匀地、逐个原子层地精确刻蚀，获得极高的刻蚀选择率，是研制高性能氮化镓高电子迁移率晶体管的关键设备。所用的弱等离子体对器件的电学损伤也更小，同时在超薄的二维电子气层上实现原子层级的减薄与刻蚀能极大改善器件的输出性能。目前ALE可实现GaN、AlGaN、Si等材料在原子层精度的图形化刻蚀，是未来符合摩尔定律、器件尺寸逐渐减小必不可少的工艺。氮化镓功率器件是国家在电力电子领域的重大需求，配备这台ALE感应耦合等离子体刻蚀系统，才能提供稳定、无交叉污染、原子层级的高精度刻蚀，完成国家重大科研任务。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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