清华大学2024年4月政府采购意向-扫描步进式光刻机其他光学仪器-预算金额万元人民币
发送至邮箱
清华大学2024年4月政府采购意向-扫描步进式光刻机其他光学仪器-预算金额万元人民币
| 扫描步进式光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2024年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 扫描步进式光刻机 |
| 预算金额： | 12000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况： | 本设备主要用于MEMS陀螺仪、加速度计、压力计以及MEMS激光雷达执行器和声表面波滤波器的精细图形的高效曝光，对工艺线的0.3μm以下光刻能力提升有着不可替代的作用。1. 8英寸；2. 分辨率≤ 150nm；3. 套刻精度≤35nm。4. 光强均匀性：≤±1.5%。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 扫描步进式光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2024年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 扫描步进式光刻机 |
| 预算金额： | 12000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况： | 本设备主要用于MEMS陀螺仪、加速度计、压力计以及MEMS激光雷达执行器和声表面波滤波器的精细图形的高效曝光，对工艺线的0.3μm以下光刻能力提升有着不可替代的作用。1. 8英寸；2. 分辨率≤ 150nm；3. 套刻精度≤35nm。4. 光强均匀性：≤±1.5%。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
