A*电子工业生产设备

采购数量：1套一 性能要求1反应腔室：由整块铝锭加工制成，保证低漏率，本底真空≤1×10-2 mbar，真空漏率≤ 2 x 10-4 mbar l/s；2、上电极：上电极为铝制电极，由13.56 MHz射频源驱动；3、下电极：下电极为铝制电极，电极基板接地；4、射频源：（1）上电极射频发生器：频率13.56 MHz，射频功率≥ 300 W。（2）上电极射频发生器配备自动匹配网络。5、真空系统：本底真空：≤ 1×10-2 mbar，配置薄膜电容真空计；6、气路系统：气路柜中的质量流量计到反应腔的距离不超过100cm，以保证快速气体切换；7、控制系统与软件：（1）控制系统包含带Windows 的PC系统以及独立的可编程逻辑控制器PLC；PLC通过现场总线连接设备各个组件。（2软件可用程序控制气体流量、气压等工艺参数，工艺程序可自动运行Recipe，也可人工干预和控制，具有软件互锁功能；二 售后服务1 安装, 调试,验收及培训1）本产品由供货方负责安装。用户在收货后应及时通知供货方安装、调试。不经供货方同意不得随意拆箱。2）设备最终验收前，卖方负责对委托方的技术人员免费进行为期5个工作日的操作技术及维护保养培训、培训内容包括设备的安装、使用、日常维护与保养、故障的排除、安全操作等。3）技术培训应达到实际效果，要使买方的技术人员熟练操作设备，并掌握设备日常维护与保养方法。4）在设备保修期内，若委托方技术人员对设备有其他使用技术上的要求，卖方通过电话/传真等方式及时对技术人员提供所需的技术指导2 售后服务1）质量保证期为12个月，由最终双方验收合格签署验收报告之日期起；提供一名3年以上工作经验的工程师提供持续的技术支持。2）质量保证期内若设备发生故障，卖方在接到买方的设备故障通知后，正常工作时间2小时/夜间及假日4小时内做出反应，工作日24小时/周末节假日48小时内赶到现场，24h零件到现场（零件在上海保税库的情况下，不可抗力因素除外），12小时复机完成（需示损坏情况而定，无法保证与12h内完成）。保证期内的维修服务和除消耗品以外的零部件的更换均属于无偿的。3）质量保证期内，若设备发生故障，卖方无法按时提供零件到现场，或者卖方工程师无法按时到达现场进行技术服务，造成的设备宕机时间顺延到质量保证期时长。4）质量保证期外，设备发生故障，卖方在接到买方设备故障通知后5h内做出反应，48h（特急情况下24h）内抵达用户现场且备齐设备维修所需的零部件，部

A*电子工业生产设备

采购数量：1套一 性能要求1反应腔室：由整块铝锭加工制成，保证低漏率，本底真空≤1×10-2 mbar，真空漏率≤ 2 x 10-4 mbar l/s；2、上电极：上电极为铝制电极，由13.56 MHz射频源驱动；3、下电极：下电极为铝制电极，电极基板接地；4、射频源：（1）上电极射频发生器：频率13.56 MHz，射频功率≥ 300 W。（2）上电极射频发生器配备自动匹配网络。5、真空系统：本底真空：≤ 1×10-2 mbar，配置薄膜电容真空计；6、气路系统：气路柜中的质量流量计到反应腔的距离不超过100cm，以保证快速气体切换；7、控制系统与软件：（1）控制系统包含带Windows 的PC系统以及独立的可编程逻辑控制器PLC；PLC通过现场总线连接设备各个组件。（2软件可用程序控制气体流量、气压等工艺参数，工艺程序可自动运行Recipe，也可人工干预和控制，具有软件互锁功能；二 售后服务1 安装, 调试,验收及培训1）本产品由供货方负责安装。用户在收货后应及时通知供货方安装、调试。不经供货方同意不得随意拆箱。2）设备最终验收前，卖方负责对委托方的技术人员免费进行为期5个工作日的操作技术及维护保养培训、培训内容包括设备的安装、使用、日常维护与保养、故障的排除、安全操作等。3）技术培训应达到实际效果，要使买方的技术人员熟练操作设备，并掌握设备日常维护与保养方法。4）在设备保修期内，若委托方技术人员对设备有其他使用技术上的要求，卖方通过电话/传真等方式及时对技术人员提供所需的技术指导2 售后服务1）质量保证期为12个月，由最终双方验收合格签署验收报告之日期起；提供一名3年以上工作经验的工程师提供持续的技术支持。2）质量保证期内若设备发生故障，卖方在接到买方的设备故障通知后，正常工作时间2小时/夜间及假日4小时内做出反应，工作日24小时/周末节假日48小时内赶到现场，24h零件到现场（零件在上海保税库的情况下，不可抗力因素除外），12小时复机完成（需示损坏情况而定，无法保证与12h内完成）。保证期内的维修服务和除消耗品以外的零部件的更换均属于无偿的。3）质量保证期内，若设备发生故障，卖方无法按时提供零件到现场，或者卖方工程师无法按时到达现场进行技术服务，造成的设备宕机时间顺延到质量保证期时长。4）质量保证期外，设备发生故障，卖方在接到买方设备故障通知后5h内做出反应，48h（特急情况下24h）内抵达用户现场且备齐设备维修所需的零部件，部