南京大学2024年4至5月政府采购意向-南京大学直写光刻微纳加工系统集成电路参数测量仪-预算金额万元人民币
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南京大学2024年4至5月政府采购意向-南京大学直写光刻微纳加工系统集成电路参数测量仪-预算金额万元人民币
| 南京大学直写光刻微纳加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 南京大学直写光刻微纳加工系统 |
| 预算金额： | 1500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 集成电路参数测量仪 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购直写光刻微纳加工系统一套，系统由电子束直写光刻和激光直写光刻两部分组成。主要采购需求如下：电子束直写光刻机最高加速电压不低于50KV，配置激光干涉台，支持6英寸晶圆及碎片样品(样品尺寸向下兼容)；激光直写光刻机支持4096阶灰度曝光，支持4英寸及碎片样品加工； 质保期：验收合格后12个月。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 南京大学直写光刻微纳加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 南京大学直写光刻微纳加工系统 |
| 预算金额： | 1500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 集成电路参数测量仪 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购直写光刻微纳加工系统一套，系统由电子束直写光刻和激光直写光刻两部分组成。主要采购需求如下：电子束直写光刻机最高加速电压不低于50KV，配置激光干涉台，支持6英寸晶圆及碎片样品(样品尺寸向下兼容)；激光直写光刻机支持4096阶灰度曝光，支持4英寸及碎片样品加工； 质保期：验收合格后12个月。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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