中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向-SiGe/刻蚀机电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向-SiGe/刻蚀机电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| SiGe/Ge Fin ICP刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年6至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | SiGe/Ge Fin ICP刻蚀机 |
| 预算金额： | 550.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 8英寸晶圆，连续25片盒连续自动作业； (略) ；ICP高密度等离子源，Fin刻蚀陡直度90+/-1°， (略) ， (略) 能带2个以上富余腔体接口。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| SiGe/Ge Fin ICP刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年6至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | SiGe/Ge Fin ICP刻蚀机 |
| 预算金额： | 550.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 8英寸晶圆，连续25片盒连续自动作业； (略) ；ICP高密度等离子源，Fin刻蚀陡直度90+/-1°， (略) ， (略) 能带2个以上富余腔体接口。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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