中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向-垂直流热型原子层沉积系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向-垂直流热型原子层沉积系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 垂直流热型原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年6至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 垂直流热型原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 392.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 温度范围：100~500℃，控温精确度±1℃内腔材质：Ti合金金属沾污：<5e10/cm2；本底真空：≤20mtorr腔室真空漏率：≤10e-7Pa.m3/S机械（膜内）颗粒：0.2um<30 个满足8inch以下至1cm*1cm 小片加工ZrO2 膜厚片内片间均匀性:3nm(<3%)热源≧2个，液源≧2个， (略) ≧4路臭氧发生器： ≧12%干泵抽速 ≧ 600M3/h （配分子泵）ALD 阀门响应时间： ≤20msALD 阀门最高温度： ≤ 200 ℃ |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 垂直流热型原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年6至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 垂直流热型原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 392.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 温度范围：100~500℃，控温精确度±1℃内腔材质：Ti合金金属沾污：<5e10/cm2；本底真空：≤20mtorr腔室真空漏率：≤10e-7Pa.m3/S机械（膜内）颗粒：0.2um<30 个满足8inch以下至1cm*1cm 小片加工ZrO2 膜厚片内片间均匀性:3nm(<3%)热源≧2个，液源≧2个， (略) ≧4路臭氧发生器： ≧12%干泵抽速 ≧ 600M3/h （配分子泵）ALD 阀门响应时间： ≤20msALD 阀门最高温度： ≤ 200 ℃ |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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