中国科学院微电子研究所2024年5至9月政府采购意向-12吋晶圆/芯片自动光学检测光学测试仪器-预算金额万元人民币
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中国科学院微电子研究所2024年5至9月政府采购意向-12吋晶圆/芯片自动光学检测光学测试仪器-预算金额万元人民币
| 12吋晶圆/芯片自动光学检测 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年5至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 12吋晶圆/芯片自动光学检测 |
| 预算金额： | 1300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-光学测试仪器 |
| 采购需求概况： | ，开展芯片表面以及芯片贴装的UV膜表面的颗粒沾污检测，并嵌入至工艺流程的在线检测步骤，实现存储和逻辑芯片的界面无空洞键合和超高密互连。项目承担单位目前无相关设备，急需该设备支撑项目研发。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 12吋晶圆/芯片自动光学检测 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年5至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 12吋晶圆/芯片自动光学检测 |
| 预算金额： | 1300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-光学测试仪器 |
| 采购需求概况： | ，开展芯片表面以及芯片贴装的UV膜表面的颗粒沾污检测，并嵌入至工艺流程的在线检测步骤，实现存储和逻辑芯片的界面无空洞键合和超高密互连。项目承担单位目前无相关设备，急需该设备支撑项目研发。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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