中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-8英寸晶圆兆声清洗机电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-8英寸晶圆兆声清洗机电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 8英寸晶圆兆声清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 8英寸晶圆兆声清洗机 |
| 预算金额： | 380.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：8英寸晶圆兆声清洗机。采购标的主要功能：针对小尺寸DRAM用于抛光后及刻蚀后晶圆的刷洗工艺。主要目标：粒径＞0.3um 的颗粒去除率 >95%; 碎片率 ＜1‰; 划痕率＜1‰ 。采购数量：1台 。采购标的所需质量：针对8英寸晶圆内90nm以下小孔颗粒去除率大于等于95%，并且重复性好。服务、安全、时限要求：提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 8英寸晶圆兆声清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 8英寸晶圆兆声清洗机 |
| 预算金额： | 380.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：8英寸晶圆兆声清洗机。采购标的主要功能：针对小尺寸DRAM用于抛光后及刻蚀后晶圆的刷洗工艺。主要目标：粒径＞0.3um 的颗粒去除率 >95%; 碎片率 ＜1‰; 划痕率＜1‰ 。采购数量：1台 。采购标的所需质量：针对8英寸晶圆内90nm以下小孔颗粒去除率大于等于95%，并且重复性好。服务、安全、时限要求：提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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