中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-8英寸晶圆快速退火炉电子工业生产设备-预算金额万元人民币

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中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-8英寸晶圆快速退火炉电子工业生产设备-预算金额万元人民币

8英寸晶圆快速退火炉
项目所在采购意向: (略) 微电子研究所2024年9至12月政府采购意向
采购单位: (略) 微电子研究所
采购项目名称: 8英寸晶圆快速退火炉
预算金额: 200.*万元(人民币)
采购品目:
A*-电子工业生产设备
采购需求概况:
采购标的名称:8英寸晶圆快速退火炉。采购标的主要功能:小尺寸3D DRAM器件研制中需要对制备的器件进行高温快速退火处理以提升器件的电学性能。主要目标: 温度范围300-1000℃ ; (略) 气体 (氮气 氧气);支持真空及常压模式;晶圆尺寸 200mm。。采购数量:1台 。采购标的所需质量:退火过程中温度设置值与实际值误差在1%以内。服务、安全、时限要求:提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。
预计采购时间: 2024-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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8英寸晶圆快速退火炉
项目所在采购意向: (略) 微电子研究所2024年9至12月政府采购意向
采购单位: (略) 微电子研究所
采购项目名称: 8英寸晶圆快速退火炉
预算金额: 200.*万元(人民币)
采购品目:
A*-电子工业生产设备
采购需求概况:
采购标的名称:8英寸晶圆快速退火炉。采购标的主要功能:小尺寸3D DRAM器件研制中需要对制备的器件进行高温快速退火处理以提升器件的电学性能。主要目标: 温度范围300-1000℃ ; (略) 气体 (氮气 氧气);支持真空及常压模式;晶圆尺寸 200mm。。采购数量:1台 。采购标的所需质量:退火过程中温度设置值与实际值误差在1%以内。服务、安全、时限要求:提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。
预计采购时间: 2024-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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