中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-8英寸晶圆椭偏仪光学测试仪器-预算金额万元人民币
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中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-8英寸晶圆椭偏仪光学测试仪器-预算金额万元人民币
| 8英寸晶圆椭偏仪 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 8英寸晶圆椭偏仪 |
| 预算金额： | 160.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-光学测试仪器 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：8英寸晶圆椭偏仪。采购标的主要功能：检测薄膜性质。主要目标：波长范围193-1000nm；可采集800个数据点；配置自动样品台和微光斑（300um）；最快扫描时间0.3s单点 晶圆尺寸200mm 。采购数量：1台 。采购标的所需质量：不同材料薄膜厚度检测精度高、片间相同材料相同厚度薄膜检测误差3%以内、片内检测速度快。服务、安全、时限要求：提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 8英寸晶圆椭偏仪 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 8英寸晶圆椭偏仪 |
| 预算金额： | 160.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-光学测试仪器 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：8英寸晶圆椭偏仪。采购标的主要功能：检测薄膜性质。主要目标：波长范围193-1000nm；可采集800个数据点；配置自动样品台和微光斑（300um）；最快扫描时间0.3s单点 晶圆尺寸200mm 。采购数量：1台 。采购标的所需质量：不同材料薄膜厚度检测精度高、片间相同材料相同厚度薄膜检测误差3%以内、片内检测速度快。服务、安全、时限要求：提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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