中国科学院合肥物质科学研究院2024年4至12月政府采购意向-聚焦离子束刻蚀机-样品前处理及制备仪器-预算金额万元人民币
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中国科学院合肥物质科学研究院2024年4至12月政府采购意向-聚焦离子束刻蚀机-样品前处理及制备仪器-预算金额万元人民币
| 聚焦离子束刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 合肥物 (略) 2024年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 合肥物 (略) |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束刻蚀机 |
| 预算金额： | 800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | 样品前处理及制备仪器 |
| 采购需求概况： | 1. 成像系统：1.1 分辨率：二次电子分辨率≤0.9 *@*5 kV，≤1.*@* kV；1.2电子光学系统（1）电子枪：高亮度肖特基场发射电子枪，保证使用寿命可达2年；（2）放大倍数≥2～2,000,000倍；（3）束流范围：≥2pA～400nA，电子束流连续可调；（4）电子束着*能量范围：≥50 eV - 30 keV；（5）视野范围：工作距离为6mm时视野范围不小于7mm，最大工作距离时视野范围不小于50mm；2. 刻蚀系统：2.1 离子束分辨率（双束重合点）：≤2.5 *@*0 kV；2.2离子束能量范围：≥500 eV - 30 keV；2.3 离子枪最大束流：不小于100nA；3. 光谱探测系统：光谱范围400 ~1000 nm |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 聚焦离子束刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 合肥物 (略) 2024年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 合肥物 (略) |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束刻蚀机 |
| 预算金额： | 800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | 样品前处理及制备仪器 |
| 采购需求概况： | 1. 成像系统：1.1 分辨率：二次电子分辨率≤0.9 *@*5 kV，≤1.*@* kV；1.2电子光学系统（1）电子枪：高亮度肖特基场发射电子枪，保证使用寿命可达2年；（2）放大倍数≥2～2,000,000倍；（3）束流范围：≥2pA～400nA，电子束流连续可调；（4）电子束着*能量范围：≥50 eV - 30 keV；（5）视野范围：工作距离为6mm时视野范围不小于7mm，最大工作距离时视野范围不小于50mm；2. 刻蚀系统：2.1 离子束分辨率（双束重合点）：≤2.5 *@*0 kV；2.2离子束能量范围：≥500 eV - 30 keV；2.3 离子枪最大束流：不小于100nA；3. 光谱探测系统：光谱范围400 ~1000 nm |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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