清华大学2024年4月政府采购意向-尾气处理设备电子工业专用生产设备-预算金额万元人民币
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清华大学2024年4月政府采购意向-尾气处理设备电子工业专用生产设备-预算金额万元人民币
| 尾气处理设备 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2024年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 尾气处理设备 |
| 预算金额： | 431.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 本设备主要用于PECVD(Si3N4/SiON/SiO2)LPCVD(Poly/SiO2/Si3N4)、SiO2/Si3N4刻蚀机、POLY/Si深刻蚀机、等离子去胶机、金属刻蚀机和离子注入机，这些设备在生产中应用了不同种类的特气，按照国家和地方环保要求需配置相应的尾气处理设备处理工艺所产生的尾气。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 尾气处理设备 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2024年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 尾气处理设备 |
| 预算金额： | 431.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 本设备主要用于PECVD(Si3N4/SiON/SiO2)LPCVD(Poly/SiO2/Si3N4)、SiO2/Si3N4刻蚀机、POLY/Si深刻蚀机、等离子去胶机、金属刻蚀机和离子注入机，这些设备在生产中应用了不同种类的特气，按照国家和地方环保要求需配置相应的尾气处理设备处理工艺所产生的尾气。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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