A*

1.电子光学系统：超高分辨肖特基场发射电子枪，具有自动聚焦功能；加速电压调整范围0.2～30kV；电子束电流范围3pA~20nA；二次电子像分辨率≤0.9 *@*5kV，≤1.*@*kV；加速电压调整范围0.2-30kV；探针电流包含3pA-20 nA，连续可调；放大倍数12倍~*倍，根据加速电压、工作距离的变化要求放大倍率可自动校准；电磁透镜二级会聚透镜，可自动或手动控制。2.探测器：具备镜筒内二次电子和背散射探测器；可配置高分辨的样品室内的二次电子和背散射探测器。3.真空系统：无油真空系统，包括机械泵＋涡轮分子泵＋离子泵；电子枪真空度优于10-7 Pa量级；样品室真空度优于5×10-4 Pa量级。4.样品室及样品台：样品室左右宽度不低于300mm，前后近身不低于300mm；样品室附件接口不少于10个；样品台类型：五轴优中心全自动马达台；各轴向行程X≥100mm；Y≥100mm；Z≥40mm；5.能谱仪系统：硅漂移（SDD）电制冷探测器；能量分辨率优于129 eV；分析元素范围Be4—U92；6.矿物分析功能：最新的矿物自动分析软件，且可享受终身免费升级；矿物分析系统技术指标：最小可识别1微米的矿物；矿物分析系统数据库：矿物数据库的矿物种类齐全，数据完整，提供不少于2000种常用的基本矿物数据。

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1.电子光学系统：超高分辨肖特基场发射电子枪，具有自动聚焦功能；加速电压调整范围0.2～30kV；电子束电流范围3pA~20nA；二次电子像分辨率≤0.9 *@*5kV，≤1.*@*kV；加速电压调整范围0.2-30kV；探针电流包含3pA-20 nA，连续可调；放大倍数12倍~*倍，根据加速电压、工作距离的变化要求放大倍率可自动校准；电磁透镜二级会聚透镜，可自动或手动控制。2.探测器：具备镜筒内二次电子和背散射探测器；可配置高分辨的样品室内的二次电子和背散射探测器。3.真空系统：无油真空系统，包括机械泵＋涡轮分子泵＋离子泵；电子枪真空度优于10-7 Pa量级；样品室真空度优于5×10-4 Pa量级。4.样品室及样品台：样品室左右宽度不低于300mm，前后近身不低于300mm；样品室附件接口不少于10个；样品台类型：五轴优中心全自动马达台；各轴向行程X≥100mm；Y≥100mm；Z≥40mm；5.能谱仪系统：硅漂移（SDD）电制冷探测器；能量分辨率优于129 eV；分析元素范围Be4—U92；6.矿物分析功能：最新的矿物自动分析软件，且可享受终身免费升级；矿物分析系统技术指标：最小可识别1微米的矿物；矿物分析系统数据库：矿物数据库的矿物种类齐全，数据完整，提供不少于2000种常用的基本矿物数据。