A*

主要指标及配置：1、平面行星转动部套：可装载直径尺寸不大于Ф1000，净重不大于800Kg的工件三件； a、行星盘数量3个，行星盘转动无卡滞； b、工转速度0～10rpm； c、行星盘承重≤800kg2、电子束蒸发部套：双枪单电源两套，270°磁偏转；电子枪控制电源两套，功率10 KW及相应的环形、多穴水冷坩埚；a、高压：-4kV～10kV； b、电子束流：0～1000mA； c、坩埚容量：穴埚单穴20cc，环埚1000cc。3、石英晶体膜厚监控部套：（5探头）； a、频率稳定度：膜厚仪通电15min后，测量探头频率稳定度≤±*@*MHz； b、坩埚控制准确； c、膜层自动切换准确可靠。4、离子源辅助部套：配国产离子源两套； a、离子能量：0～1200eV。 b、离子束流：0～1000mA。 c、电子束流：0～1600mA。5、充气系统：对相应电子束蒸发源进行充工艺气体；6、冷却水系统：对电子束蒸发源、石英晶控探头、离子源等的水流保护装置；7、电气控制：对电子束蒸发源、石英晶体膜厚控制系统、离子源系统、充气系统、行星工件转动系统等的监测和控制，满足多层膜的沉积工艺需求。 a、控制方式：手动/自动； b、能够依据设计膜系，自动完成膜系镀制； c、对上述四个主要系统进行测量和控制。 厂家报价及选型：厂家最低报价为人民币*元。主要部件清单：序号 名称 数量 厂家1 电子束蒸发 2 南京涉谷2 膜厚控制 5 膜林科技3 离子源 2 北京4 行星工转 1 定制5 控制系统 1 定制 现有同类型仪器设备使用管理情况：目前国家天文台兴隆基地并没有可以镀多层多种膜系的设备，对于设备的使用与管理可以参考早期直径2.8米钟罩式真空镀膜机的使用管理情况进行，这台自1968年安装至今已使用了50多年的镀膜机，由兴隆基地技术组负责运行维护。多年来利用该设备完成了兴隆基地2.16米反光、1.26米红外、60/90厘米施密特等多台望远镜每年的常规镀膜工作。目前新的3.2米钟罩式真空镀膜机（一期），只能够进行单层软膜的镀制，也由基地技术组负责使用与运维，目前工作状态良好。

A*

主要指标及配置：1、平面行星转动部套：可装载直径尺寸不大于Ф1000，净重不大于800Kg的工件三件； a、行星盘数量3个，行星盘转动无卡滞； b、工转速度0～10rpm； c、行星盘承重≤800kg2、电子束蒸发部套：双枪单电源两套，270°磁偏转；电子枪控制电源两套，功率10 KW及相应的环形、多穴水冷坩埚；a、高压：-4kV～10kV； b、电子束流：0～1000mA； c、坩埚容量：穴埚单穴20cc，环埚1000cc。3、石英晶体膜厚监控部套：（5探头）； a、频率稳定度：膜厚仪通电15min后，测量探头频率稳定度≤±*@*MHz； b、坩埚控制准确； c、膜层自动切换准确可靠。4、离子源辅助部套：配国产离子源两套； a、离子能量：0～1200eV。 b、离子束流：0～1000mA。 c、电子束流：0～1600mA。5、充气系统：对相应电子束蒸发源进行充工艺气体；6、冷却水系统：对电子束蒸发源、石英晶控探头、离子源等的水流保护装置；7、电气控制：对电子束蒸发源、石英晶体膜厚控制系统、离子源系统、充气系统、行星工件转动系统等的监测和控制，满足多层膜的沉积工艺需求。 a、控制方式：手动/自动； b、能够依据设计膜系，自动完成膜系镀制； c、对上述四个主要系统进行测量和控制。 厂家报价及选型：厂家最低报价为人民币*元。主要部件清单：序号 名称 数量 厂家1 电子束蒸发 2 南京涉谷2 膜厚控制 5 膜林科技3 离子源 2 北京4 行星工转 1 定制5 控制系统 1 定制 现有同类型仪器设备使用管理情况：目前国家天文台兴隆基地并没有可以镀多层多种膜系的设备，对于设备的使用与管理可以参考早期直径2.8米钟罩式真空镀膜机的使用管理情况进行，这台自1968年安装至今已使用了50多年的镀膜机，由兴隆基地技术组负责运行维护。多年来利用该设备完成了兴隆基地2.16米反光、1.26米红外、60/90厘米施密特等多台望远镜每年的常规镀膜工作。目前新的3.2米钟罩式真空镀膜机（一期），只能够进行单层软膜的镀制，也由基地技术组负责使用与运维，目前工作状态良好。