中国科学院过程工程研究所2024年4至11月政府采购意向-低压化学气相沉积反应装置电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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中国科学院过程工程研究所2024年4至11月政府采购意向-低压化学气相沉积反应装置电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 低压化学气相沉积反应装置 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 过程工程研究所2024年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 过程工程研究所 |
| 采购项目名称： | 低压化学气相沉积反应装置 |
| 预算金额： | 120.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟购置的低压化学气相沉积反应装置支持在反应组分、组分浓度、晶相结构与分率、晶粒尺寸、表面形貌等特征参数的即时调控与检测表征，同时通过与动力学过程模型的耦合分析，将深入揭示化学气相沉积过程的机理和工艺规律，实现低成本、低缺陷密度、高品质的薄膜材料生产制备。 |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 低压化学气相沉积反应装置 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 过程工程研究所2024年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 过程工程研究所 |
| 采购项目名称： | 低压化学气相沉积反应装置 |
| 预算金额： | 120.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟购置的低压化学气相沉积反应装置支持在反应组分、组分浓度、晶相结构与分率、晶粒尺寸、表面形貌等特征参数的即时调控与检测表征，同时通过与动力学过程模型的耦合分析，将深入揭示化学气相沉积过程的机理和工艺规律，实现低成本、低缺陷密度、高品质的薄膜材料生产制备。 |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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