哈尔滨工业大学深圳ALD原子层沉积系统意向公开-真空应用设备
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哈尔滨工业大学深圳ALD原子层沉积系统意向公开-真空应用设备
| 采购单位: | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 项目名称: | ALD原子层沉积系统 |
| 预算金额（元）: | 1,* |
| 采购品目: | 真空应用设备 |
| 采购需求概况: | 1.适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积； 2. 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解； 3.设备本底真空优于3 Pa，设备漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s； 4.多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式。 5. (略) ， (略) ；每路源配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms)； 6. 臭氧发生器产量不低于20 g/h，浓度不低于100 g/m3； 7. 臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于510*510*210 mm； 8.配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4~1000 mbar； 9. 真空泵前级配置热阱，温度范围RT-300 ℃，控制精度±1℃； 10. 力学载台压力不低于10KN，加热最高温度400℃ |
| 联系人: | 秦敬凯 |
| 联系电话: | * |
| 预计采购时间: | 2024-05 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 项目名称: | ALD原子层沉积系统 |
| 预算金额（元）: | 1,* |
| 采购品目: | 真空应用设备 |
| 采购需求概况: | 1.适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积； 2. 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解； 3.设备本底真空优于3 Pa，设备漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s； 4.多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式。 5. (略) ， (略) ；每路源配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms)； 6. 臭氧发生器产量不低于20 g/h，浓度不低于100 g/m3； 7. 臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于510*510*210 mm； 8.配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4~1000 mbar； 9. 真空泵前级配置热阱，温度范围RT-300 ℃，控制精度±1℃； 10. 力学载台压力不低于10KN，加热最高温度400℃ |
| 联系人: | 秦敬凯 |
| 联系电话: | * |
| 预计采购时间: | 2024-05 |
| 备注: | 无 |
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