中国科学技术大学2024年6月政府意向-高精度激光直写光刻机其他仪器仪表招标预告
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中国科学技术大学2024年6月政府意向-高精度激光直写光刻机其他仪器仪表招标预告
| 高精度激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2024年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 高精度激光直写光刻机 |
| 预算金额： | 495.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 需要达到以下条件： 1、最佳图形生成分辨率达到0.6微米及以下； 2、最大支持基片尺寸达到8英寸； 3、样品台移动精度达到10纳米； |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高精度激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2024年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 高精度激光直写光刻机 |
| 预算金额： | 495.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 需要达到以下条件： 1、最佳图形生成分辨率达到0.6微米及以下； 2、最大支持基片尺寸达到8英寸； 3、样品台移动精度达到10纳米； |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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