上海科技大学2024年04月政府采购意向-硬X射线自由电子激光装置-慢充慢抽机组
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上海科技大学2024年04月政府采购意向-硬X射线自由电子激光装置-慢充慢抽机组
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 硬X射线自由电子激光装置-慢充慢抽机组 | "慢充慢抽机组。 数量：2台。 技术参数： 总漏率＜1.0×10-11 Pa·m3·s-1，每个密封面漏率＜2.0×10-12 Pa·m3·s-1，极限真空度＜5.0×10-6Pa，抽口处最小可控抽速（慢抽阶段）＜0.25 SLM，抽速控制精度（慢抽阶段）＜0.1SLM，最小可控充气流量＜0.1 SLM，碳氢污染物水平＜0.1%，采用全自动控制方式。 主要设备包含：分子泵(300L/s)、干泵(3L/s)、检漏仪（最小可检漏率＜1.0×10-12 Pa·m3·s-1）、四极质谱仪（100amu,最小可检分压＜1.0×10-12 Pa)、全量程规（冷阴极，测量下限＜5.0×10-6Pa）、控压用薄膜规、皮拉尼 (略) 中的所有阀门、流量计等气流控制设备。 目标：在光学元件真空系统抽气及充气过程中，降低气体流速以避免产生湍流，从而避免微尘进入真空系统，减少颗粒污染的影响。 供货周期：合同签订后8个月内。 质保期：质保1年。" | *.00 | 2024-04 |
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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
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| 1 | 硬X射线自由电子激光装置-慢充慢抽机组 | "慢充慢抽机组。 数量：2台。 技术参数： 总漏率＜1.0×10-11 Pa·m3·s-1，每个密封面漏率＜2.0×10-12 Pa·m3·s-1，极限真空度＜5.0×10-6Pa，抽口处最小可控抽速（慢抽阶段）＜0.25 SLM，抽速控制精度（慢抽阶段）＜0.1SLM，最小可控充气流量＜0.1 SLM，碳氢污染物水平＜0.1%，采用全自动控制方式。 主要设备包含：分子泵(300L/s)、干泵(3L/s)、检漏仪（最小可检漏率＜1.0×10-12 Pa·m3·s-1）、四极质谱仪（100amu,最小可检分压＜1.0×10-12 Pa)、全量程规（冷阴极，测量下限＜5.0×10-6Pa）、控压用薄膜规、皮拉尼 (略) 中的所有阀门、流量计等气流控制设备。 目标：在光学元件真空系统抽气及充气过程中，降低气体流速以避免产生湍流，从而避免微尘进入真空系统，减少颗粒污染的影响。 供货周期：合同签订后8个月内。 质保期：质保1年。" | *.00 | 2024-04 |
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