中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向-TSV平坦化抛光机电子工业生产设备-预算金额万元人民币

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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向-TSV平坦化抛光机电子工业生产设备-预算金额万元人民币

TSV平坦化抛光机
项目所在采购意向: (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向
采购单位: (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购项目名称: TSV平坦化抛光机
预算金额: 1300.*万元(人民币)
采购品目:
A*电子工业生产设备
采购需求概况:
设备名称:TSV平坦化抛光机 1、主要功能:TSV平坦化抛光机设备采用抛头多压力分区设计,可独立调整控制实现,配置针对Cu和氧化硅等介质薄膜的高分辨终点检测系统,可以实现纳米精度控制。具备8inch向下兼容6inch晶圆衬底工艺能力。 2、采购数量:1台。 3、质量:严格按照招标文件及相关国家标准的要求,投标物资的技术设计、生产过程、出厂检验到售后服务进行全过程的质量管理,保证实际供应物资的质量与招标文件中的招标采购物资标准与技术要求完全一致,产品质量稳定可靠。 4、服务:投标人承诺提至少1年免费质保、终身维修的服务。负责提供技术服务和技术支持。免费质保期是指从用户验收合格之日起的至少一年以上时间内为免费质保期。在免费质保期内,任何由于设备质量原因或者正常使用引起的故障及损坏,除人为因素损坏外,由投标人提供免费维修。终生维修是指投标人对所售设备提供终身维修服务,接到用户维修反馈后,厂家需要24h之内进行答复。投标人对用户的技术人员和维修人员进行相关技术培训、设备维护维修保养培训及设备应急处理培训,并出具操作说明书和维护维修保养手册。 5、安全:设备在安装、使用过程中应符合职业健康安全和环境保护等要求。设备应在技术人员方便操作的位置设有紧急停止开关,紧急停止开关上应加防护罩,防止误操作。以实际公告为准。
预计采购时间: 2024-06
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,苏州, (略)
TSV平坦化抛光机
项目所在采购意向: (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至8月政府采购意向
采购单位: (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购项目名称: TSV平坦化抛光机
预算金额: 1300.*万元(人民币)
采购品目:
A*电子工业生产设备
采购需求概况:
设备名称:TSV平坦化抛光机 1、主要功能:TSV平坦化抛光机设备采用抛头多压力分区设计,可独立调整控制实现,配置针对Cu和氧化硅等介质薄膜的高分辨终点检测系统,可以实现纳米精度控制。具备8inch向下兼容6inch晶圆衬底工艺能力。 2、采购数量:1台。 3、质量:严格按照招标文件及相关国家标准的要求,投标物资的技术设计、生产过程、出厂检验到售后服务进行全过程的质量管理,保证实际供应物资的质量与招标文件中的招标采购物资标准与技术要求完全一致,产品质量稳定可靠。 4、服务:投标人承诺提至少1年免费质保、终身维修的服务。负责提供技术服务和技术支持。免费质保期是指从用户验收合格之日起的至少一年以上时间内为免费质保期。在免费质保期内,任何由于设备质量原因或者正常使用引起的故障及损坏,除人为因素损坏外,由投标人提供免费维修。终生维修是指投标人对所售设备提供终身维修服务,接到用户维修反馈后,厂家需要24h之内进行答复。投标人对用户的技术人员和维修人员进行相关技术培训、设备维护维修保养培训及设备应急处理培训,并出具操作说明书和维护维修保养手册。 5、安全:设备在安装、使用过程中应符合职业健康安全和环境保护等要求。设备应在技术人员方便操作的位置设有紧急停止开关,紧急停止开关上应加防护罩,防止误操作。以实际公告为准。
预计采购时间: 2024-06
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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