四川大学2024年5月政府采购意向-产教融合创新平台-下一代分子诊断中心-真空等离子键合仪采购-A货物,设备,A023-预算金额万元人民币
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四川大学2024年5月政府采购意向-产教融合创新平台-下一代分子诊断中心-真空等离子键合仪采购-A货物,设备,A023-预算金额万元人民币
| (略) -下一代分子诊断中心-真空等离子键合仪采购 | |
| 项目所在采购意向： | 四川大学2024年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 四川大学 |
| 采购项目名称： | (略) -下一代分子诊断中心-真空等离子键合仪采购 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A货物,A*设备,A*电工、电子生产设备,A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 真空等离子键合仪1台：腔体：375mm*375mm*400mm,进口电源德国comet,全自动匹配器：13,56MHz，爱德华的干泵、真空度30pa以下，爱德华真空计、英国沃威流量计0-300SCCM;西门子PLC横电极多层、2路工艺气体。真空等离子键合仪是加热玻璃和金属（或者半导体）所组成的三明治结构，并且在此结构的两端施加直流电压。MEMS应用中最典型的键合材料是玻璃衬底和P型硅衬底。具体的键合工艺方法有阳极键合、硅硅键合、金属共晶键合、热压键合等等，主要用途是通过层叠衬底和硅片，产生立体的三维结构，以达到利用器件三维空间增加集成度或制造三维微型机械结构的目的。还可以实现微电子材料、光电材料及其纳米等级微机电元件的电气互联、功能集成和器件封装。设备功能多样化且需要配置灵活，结构紧凑，可以多种功能于一体来实现不同工艺需求，设备指标领先，技术成熟，质量可靠，无环境风险，无安全风险。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| (略) -下一代分子诊断中心-真空等离子键合仪采购 | |
| 项目所在采购意向： | 四川大学2024年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 四川大学 |
| 采购项目名称： | (略) -下一代分子诊断中心-真空等离子键合仪采购 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A货物,A*设备,A*电工、电子生产设备,A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 真空等离子键合仪1台：腔体：375mm*375mm*400mm,进口电源德国comet,全自动匹配器：13,56MHz，爱德华的干泵、真空度30pa以下，爱德华真空计、英国沃威流量计0-300SCCM;西门子PLC横电极多层、2路工艺气体。真空等离子键合仪是加热玻璃和金属（或者半导体）所组成的三明治结构，并且在此结构的两端施加直流电压。MEMS应用中最典型的键合材料是玻璃衬底和P型硅衬底。具体的键合工艺方法有阳极键合、硅硅键合、金属共晶键合、热压键合等等，主要用途是通过层叠衬底和硅片，产生立体的三维结构，以达到利用器件三维空间增加集成度或制造三维微型机械结构的目的。还可以实现微电子材料、光电材料及其纳米等级微机电元件的电气互联、功能集成和器件封装。设备功能多样化且需要配置灵活，结构紧凑，可以多种功能于一体来实现不同工艺需求，设备指标领先，技术成熟，质量可靠，无环境风险，无安全风险。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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